[实用新型]一种真空退火炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及热处理设备，具体地说是一种真空退火炉。

背景技术

材料在进行退火热处理过程中，会经历一个重结晶和晶粒长大的过程；重结晶包括核的生长与长大两个基本过程。材料在完成重结晶之后，继续升高温度或延长保温时间，会发生晶粒的长大。各种块体及薄膜材料进行真空退火或者保护气保护下的退火处理之后，结构和性能都会发生变化。

目前，现有的真空退火炉包括电炉、石英管、工作台及真空抽气装置。石英管插在电炉内，两端向外伸出，支撑到工作台上；石英管的一侧与真空抽气装置连接，由其抽真空，另一侧设有开门。材料在退火时，将开门打开，人工将材料送至电炉石英管内，或者先将材料放入直径较小的石英管，再将该石英管送至电炉直径较大的石英管内。这种结构的真空退火炉，其真空度较低，在将材料送至电炉石英管内的过程中，打开开门后，石英管内的真空度将会受到影响，基本等同于大气压，需要在送完材料、关闭开门后重新抽真空。

此外，现有的真空退火炉只能实现材料的随炉冷却，而不能快速冷却，且结构复杂。

随着科学技术的发展，需要研究材料在一定温度下退火之后再经快速冷却后其结构和性能所发生的变化，因此亟待需要一种真空度高(10^-4Pa)、又可以实现材料退火后快速冷却的真空退火炉。

实用新型内容

为了解决上述存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种具有高真空度的真空退火炉。

本实用新型的另一目的在于提供一种退火后材料可以快速冷却的真空退火炉。

本实用新型的目的是通过以下的技术方案来实现的：

本实用新型包括工作台、电炉及石英管，在工作台上安装有电炉及进样室，石英管的一端伸入电炉内，另一端通过密封装置与进样室密封连通；进样室上连接有真空获得及测量系统。

其中：所述密封装置包括压盖及水冷腔组件，水冷腔组件套设于石英管上，水冷腔组件的一端与进样室密封连接，另一端密封连接有压盖；水冷腔组件为由内外壁围成的中空圆柱，内外壁之间留有空隙；在水冷腔组件与石英管之间还设有隔套，隔套套设于石英管上，两侧通过第二O型密封圈分别与压盖及水冷腔组件密封抵接；所述电炉上安装有移动装置，电炉通过移动装置可在工作台上往复移动；所述移动装置包括导轨、车轮、轴及轮架，电炉的下方通过支架连接有底板，在底板的下方安装有轮架，车轮通过轴安装在轮架上；工作台上铺设有导轨，电炉通过车轮与导轨配合连接可在工作台上往复移动；该退火炉还配备有喷水装置，包括内、外壁及进水管，内、外壁围成中空圆柱，进水管固接在外壁上并与内外壁之间的空隙相连通；在内壁的圆周面上均布有多个喷水孔；所述真空获得及测量系统位于工作台的控制柜上，包括机械泵、电磁隔断阀及涡轮分子泵，机械泵通过电磁隔断阀与涡轮分子泵相连接，涡轮分子泵的另一端连接于进样室；在进样室上还设有复合真空计。

本实用新型的优点与积极效果为：

1.本实用新型的石英管与进样室密封连接，具有高真空度，不必重复抽真空。

2.电炉可以通过工作台上的导轨往复移动，降温过程既可以缓慢降温，也可以将电炉推离石英管快速降温。

3.本实用新型配备的喷水装置，可以使石英管迅速冷却，以达到使炉温快速冷却的目的。

4.本实用新型结构简单、操作方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为真空获得及测量系统的结构示意图；

图3为进样室与石英管的密封连接示意图；

图4为移动装置的结构示意图；

图5为喷水装置的结构示意图；

图6为喷水装置的使用示意图；

图7为炉温随降温时间关系曲线图；

图8为FePt薄膜的XRD图；

图9为FePt薄膜退火前后的磁滞回线图；

其中：1为电炉，2为石英管，3为工作台，4为进样室，5为复合真空计，6为机械泵，7为电磁隔断阀，8为涡轮分子泵，9为压盖，10为水冷腔组件，11为第一O型密封圈，12为隔套，13为第二O型密封圈，14为导轨，15为车轮，16为轴，17为轮架，18为底板，19为支架，20为喷水装置，21为喷水孔，22为进水管。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。