[实用新型]多晶硅氯硅烷取样装置无效
| 申请号： | 200820061953.9 | 申请日： | 2008-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN201163246Y | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 许跃勇;汪付祧 | 申请（专利权）人： | 乐山市永晟仪表阀门制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/02 | 分类号： | G01N1/02;C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 641000四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 硅烷 取样 装置 | ||
1、一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：包括柜体，所述柜体通过隔板 (1)分为上下两层并设置有上下两扇柜门，上层柜体外侧设置有与柜体连通的 废液出口(2)、氮气入口(3)和氮气出口(4)，上层柜体内设置有位于隔板(1) 上的取样瓶(5)、与取样瓶(5)连接的流量计(6)和膜片压力表(7)，下层柜 体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口(8)、水冷入口(9)和水冷出口(10)， 下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐(11)，所述冷凝罐(11)与2个样品入 口(8)、水冷入口(9)和水冷出口(10)同时通过管道连接。
2、根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：所述氮气 入口(3)通过高密封截止阀A(12)、管道与流量计(6)连接。
3、根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：所述流量 计(6)依次通过穿透隔板(1)的管道连接位于下柜体内的三通球阀D(13)连 接，然后三通球阀D(13)依次通过管道、波纹软管A(14)、三通球阀A(15) 与取样瓶(5)连接。
4、根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：所述取样 瓶(5)依次通过三通球阀B(16)、波纹软管B(17)、三通球阀C(18)、管道与 膜片压力表(7)连接，膜片压力表(7)通过法兰(19)、高密封截止阀B(20) 与氮气出口(4)连接。
5、根据权利要求4所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：所述三通 球阀C(18)和膜片压力表(7)之间的管道还同时连接于废液出口(2)。
6、根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：所述冷凝 罐(11)的侧面分别通过管道与水冷入口(9)、水冷出口(10)连接，管道中间 均设置有不锈钢球阀(25)，冷凝罐(11)顶部通过管道、卡套连接头A(21)、 三通球阀E(22)与2个样品入口(8)连接，冷凝罐(11)顶部还通过管道、 卡套连接头B(23)与三通球阀D(13)连接。
7、根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：所述废液 出口(2)、氮气入口(3)和氮气出口(4)位于上柜门的右侧。
8、根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：所述水冷 入口(9)、水冷出口(10)和2个样品口(8)位于下柜门的左侧。
9、根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：所述上柜 门的一侧设置有通风口(24)，通风口(24)与废液出口(2)、氮气出口(4)的 位置相对。
10、根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：所述上 下柜门均设置有把手(26)。
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