[实用新型]多晶硅氯硅烷取样装置

说明书

涉及领域

本实用新型涉及多晶硅的生产设备，特别是一种多晶硅氯硅烷取样装置。

背景技术

在多晶硅的生产过程中，传统的工艺结构是将氮气吹扫、氯硅烷冷却、取样 分别单独进行，因为没有一体化设计的取样装置，这样三个步骤分开进行比较浪 费时间，效率不高，非常不方便。

如果能将氮气吹扫、氯硅烷冷却、取样三个步骤通过一个设备一体化实现， 那么将是多晶硅生产的一个重要突破。

实用新型内容

本实用新型为解决上述问题提供了一种多晶硅氯硅烷取样装置，能够实现实 现氮气吹扫、氯硅烷冷却、取样一体化，并且安全方便。

本实用新型的技术方案如下：

一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于：包括柜体，所述柜体通过隔板分 为上下两层并设置有上下两扇柜门，上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出 口、氮气入口和氮气出口，上层柜体内设置有位于隔板上的取样瓶、与取样瓶连 接的流量计和膜片压力表，下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口、水 冷入口和水冷出口，下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐，所述冷凝罐与2 个样品入口、水冷入口和水冷出口同时通过管道连接。

所述氮气入口通过高密封截止阀A、管道与流量计连接。

所述流量计依次通过穿透隔板的管道连接位于下柜体内的三通球阀D连接， 然后三通球阀D依次通过管道、波纹软管A、三通球阀A与取样瓶连接。

所述取样瓶依次通过三通球阀B、波纹软管B、三通球阀C、管道与膜片压 力表连接，膜片压力表通过法兰、高密封截止阀B与氮气出口连接。

所述三通球阀C和膜片压力表之间的管道还同时连接于废液出口。

所述冷凝罐的侧面分别通过管道与水冷入口、水冷出口连接，管道中间均设 置有不锈钢球阀，冷凝罐顶部通过管道、卡套连接头A、三通球阀E与2个样品 入口连接，冷凝罐顶部还通过管道、卡套连接头B与三通球阀D连接。

所述废液出口、氮气入口和氮气出口位于上柜门的右侧。

所述水冷入口、水冷出口和2个样品口位于下柜门的左侧。

所述上柜门的一侧设置有通风口，通风口与废液出口、氮气出口的位置相对。

所述上下柜门均设置有把手。

所述取样瓶为带视窗的取样瓶。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型操作简单，使用安全，外形简洁、美观，工作效率高，并将氮气 吹扫、取样一体化设计，达到安全、方便、直观、高效的效果，且便于维护，使 用寿命长等特点。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图

图2为本实用新型的外形结构示意图

图3为本实用新型的外形结构示意图

图4为本实用新型的外形结构示意图

图中所示的标记为：1-隔板，2-废液出口，3-氮气入口，4-氮气出口，5 -取样瓶，6-流量计，7-膜片压力表，8-样品入口，9-水冷入口，10-水冷 出口，11-冷凝罐，12-高密封截止阀A，13-三通球阀D，14-波纹软管A， 15-三通球阀A，16-三通球阀B，17-波纹软管B，18-三通球阀C，19-法兰， 20-高密封截止阀B，21-卡套连接头A，22-三通球阀E，23-卡套连接头B， 24-通风口，25-不锈钢球阀，26-把手。

具体实施方式

实施例1

如图1所示，一种多晶硅氯硅烷取样装置，包括柜体，所述柜体通过隔板分 为上下两层并设置有上下两扇柜门，上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出 口、氮气入口和氮气出口，上层柜体内设置有位于隔板上的取样瓶、与取样瓶连 接的流量计和膜片压力表，下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口、水 冷入口和水冷出口，下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐，所述冷凝罐与2 个样品入口、水冷入口和水冷出口同时通过管道连接。

所述氮气入口通过高密封截止阀A、管道与流量计连接。

所述流量计依次通过穿透隔板的管道连接位于下柜体内的三通球阀D连接， 然后三通球阀D依次通过管道、波纹软管A、三通球阀A与取样瓶连接。

所述取样瓶依次通过三通球阀B、波纹软管B、三通球阀C、管道与膜片压 力表连接，膜片压力表通过法兰、高密封截止阀B与氮气出口连接。

所述三通球阀C和膜片压力表之间的管道还同时连接于废液出口。