[实用新型]感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置有效
| 申请号： | 200820063602.1 | 申请日： | 2008-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN201241194Y | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 周世斌;石全洲;邓丽华;王国强;叶茂 | 申请（专利权）人： | 成都东骏激光有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴彦峰 |
| 地址： | 611630四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感应 加热 坩埚 提拉法 激光 晶体生长 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种感应加热铱坩埚提拉法激光晶体生长装置，其特征在于：包括底部的陶瓷托盘(12)和垫板(11)，陶瓷托盘(12)上设有陶瓷保温筒(10)，陶瓷保温筒(10)外侧设有感应线圈(8)，陶瓷保温筒(10)内侧设有ZrO2保温砖(9)，垫板(11)上面设有铱坩埚(7)，且铱坩埚(7)位于ZrO2保温砖(9)的内侧，铱坩埚(7)内装有熔体(4)，陶瓷保温筒(10)和ZrO2保温砖(9)上端设有带有观察口(13)的上保温筒(5)和陶瓷观察挡板(6)，且陶瓷观察挡板(6)位于上保温筒观察口(13)的外侧，铱坩埚(7)上方设有籽晶杆(1)，籽晶杆(1)下端装有籽晶(2)，籽晶(2)下端位于熔体(4)的上方，且籽晶杆(1)、籽晶(2)均位于上保温筒(5)的内侧。
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