[实用新型]一种串联型薄膜微音电容器式检测器

权利要求书

1、一种串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，包括壳体(19)、连接套(6)、与连接套(6)连接且套装于壳体(19)内部的检测室组件、位于壳体(19)底部的信号端子(12)和安装在壳体(19)侧壁的真空支管(17)，所述检测室器组件包括壳体I(8)和壳体II(10)，

所述壳体I(8)包括过渡腔(18)、位于过渡腔(18)上部的密封圈(22)、位于过渡腔(18)一侧的干燥吸收器(2)、位于过渡腔(18)另一侧的挡光调节装置(7)、与过渡腔(18)通过晶片(15-1)连接的前吸收室(9)、安装在前吸收室(9)侧壁的压力平衡孔(21)和安装在所述壳体I(8)下端的环形密封圈(20)；

所述壳体II(10)包括通过晶片(15-2)与前吸收室(9)连接的后吸收室(4)、位于后吸收室(4)底部的反射锥(13)、位于反射锥(13)下面的薄膜微音电容器组件(11)和安装在后吸收室(4)侧壁的压力补偿毛细管(3)，在所述反射锥(13)的中央设有正对着薄膜微音电容器组件(11)的中央压力传导孔(5)；

所述连接套(6)包括用于外部连接的法兰(24)、安装于连接套(6)中的滤光片(1)、安装于滤光片(1)一侧的光学平衡孔(23)、连接套(6)下端用于安装密封圈(22)的环形密封槽和环形密封切口。

2、如权利要求1所述的串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，所述薄膜微音电容器组件(11)包括薄膜微音组件和支持器组件(27)，所述薄膜微音组件和支持器组件(27)之间通过连接件连接，在所述薄膜微音组件和支持器组件之间设有间隙，其中：所述薄膜微音组件是电容器中电容动极，所述电容动极由上、下两个不锈钢环(25)紧压住中间一片金属箔(26)组成，所述支持器组件包括安装在支架上的电容器中电容定极(27)、开孔绝缘板(29)、电极紧固螺母(30)、信号端子连接装置(31)和紧固压环(32)。

3、如权利要求2所述的串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，所述电容动极的一侧与所述前吸收室(9)、所述后吸收室(4)之间，经由所述压力平衡孔(21)、所述壳体(19)与壳体II(10)之间的间隙、所述支持器组件上的开孔绝缘板构成通道，所述电容动极的另一侧与后吸收室(4)之间直接经压力传导孔(5)构成通道，所述电容动极的两侧、所述前吸收室(9)、所述后吸收室(4)和所述通道在所述密封圈(20、22)的作用下与外界气密隔绝。

4、如权利要求1所述的串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，所述过渡腔(18)的纵剖面呈梯形，过渡腔(18)容积为4300～5200mm³。

5、如权利要求1所述的串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，所述前吸收室(9)的纵剖面呈矩形，前吸收室(9)容积为3500～3800mm³。

6、如权利要求1所述的串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，所述后吸收室(4)的纵剖面呈梯形，后吸收室(4)的容积为3000～3800mm³。

7、如权利要求1所述的串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，所述光学平衡孔(23)的直径为1.0～1.8mm。

8、如权利要求1所述的串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，所述压力补偿毛细管(3)外径为1.8～2.3mm，内径为0.1～0.3mm。

9、如权利要求1所述的串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，所述检测室组件与所述壳体(19)采用高精度套口间隙配合连接，所述间隙为0.01～0.4mm。

10、如权利要求1所述的串联型薄膜微音电容器式检测器，其特征在于，在所述壳体I(8)上装有调节光路平衡的挡光调节装置(7)，所述挡光调节装置(7)包括蜗杆和有所述蜗杆带动的挡光片。