[实用新型]一种串联型薄膜微音电容器式检测器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种检测器，具体的说，涉及一种串联型薄膜微音电容器式检测器。

背景技术

薄膜微音电容器式检测器是用于检测气体密度的装置，就其构成来说有两种主要结构：并联式和串联式。串联式检测器比较并联式而言，检测器灵敏度具有选择性好、灵敏度高、检测器必须密封以及必须工作于交流调制光路等特点。

现有薄膜微音电容器式检测器是双光路双串联检测室结构，其不足在于两个检测室以及与微音薄膜电容器腔体相连接的整个气体通路，整个光学能量吸收通路之结构只有在完全相同的情况下才能减轻由于其不对称所引起的能量吸收的不平衡现象，这要求机械加工必须极为精密，所使用的材质高度一致，这必将导致成本的增加；其次，尽管这种光路中也有前后两个吸收室，但由于分别使用两个滤光片和两个晶片而使得其一致性难以保证。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种灵敏度度高、抗干扰能力强的串联型薄膜微音电容器式检测器。

为了实现本实用新型的目的，本实用新型提供了一种串联型薄膜微音电容器式检测器，包括壳体、连接套、与连接套连接且套装于壳体内部的检测室组件、位于壳体底部的信号端子和安装在壳体侧壁的真空支管，所述检测室器组件包括壳体I和壳体II，

所述壳体I包括过渡腔、位于过渡腔上部的密封圈、位于过渡腔一侧的干燥吸收器、位于过渡腔另一侧的挡光调节装置、与过渡腔通过晶片连接的前吸收室、安装在前吸收室侧壁的压力平衡孔和安装在所述壳体I下端的环形密封圈；

所述壳体II包括通过晶片与前吸收室连接的后吸收室、位于后吸收室底部的反射锥、位于反射锥下面的薄膜微音电容器组件和安装在后吸收室侧壁的压力补偿毛细管，在所述反射锥的中央设有正对着薄膜微音电容器组件的中央压力传导孔；

所述连接套包括用于外部连接的法兰、安装于连接套中的滤光片、安装于滤光片一侧的光学平衡孔、连接套下端用于安装密封圈的环形密封槽和环形密封切口。

所述薄膜微音电容器组件包括薄膜微音组件和支持器组件，所述薄膜微音组件和支持器组件之间通过连接件连接，在所述薄膜微音组件和支持器组件之间设有间隙，其中：所述薄膜微音组件是电容器中电容动极，所述电容动极由上、下两个不锈钢环紧压住中间一片金属箔组成，所述支持器组件包括安装在支架上的电容器中电容定极、开孔绝缘板、电极紧固螺母、信号端子连接装置和紧固压环。

所述电容动极的一侧与所述前吸收室、所述后吸收室之间，经由所述压力平衡孔、所述壳体与壳体II之间的间隙、所述支持器组件上的开孔绝缘板构成通道，所述电容动极的另一侧与后吸收室之间直接经压力传导孔构成通道，所述电容动极的两侧、所述前吸收室、所述后吸收室和所述通道在所述密封圈的作用下与外界气密隔绝。

所述过渡腔的纵剖面呈梯形，过渡腔容积为4300～5200mm³。

所述前吸收室的纵剖面呈矩形，前吸收室容积为3500～3800mm³。

所述后吸收室的纵剖面呈梯形，后吸收室的容积为3000～3800mm³。

所述光学平衡孔的直径为1.0～1.8mm。

所述压力补偿毛细管外径为1.8～2.3mm，内径为0.1～0.3mm。

所述检测室组件与所述壳体采用高精度套口间隙配合连接，所述间隙为0.01～0.4mm。

在所述壳体I上装有调节光路平衡的挡光调节装置，所述挡光调节装置包括蜗杆和有所述蜗杆带动的挡光片。

本实用新型所述串联型薄膜微音电容器式检测器的特点是：

1、检测器的灵敏度来自内部填充的气体，其吸收光谱即为检测器的工作波段，因而这种检测器具有良好的选择性。

2、由于检测器对被测气体的全部吸收波段灵敏，故其灵敏度很高。

3、检测器的一个关键问题是密封性，即使存在微漏也会导致检测器失灵。本实用新型所述检测器的连接采用多种密封连接，较好的解决了现有技术中检测器密封不好的问题。

4、零点稳定性好

如图2所示。光学系统在零点(通零点气)工作时，串联型接收气室薄膜电容器电容动极两边(与前、后吸收室相通)的气体同时吸收红外线，其温度上升压力增大，由于方向相反，相互抵消，特殊情况下正好完全补偿。由于这种串联型接收气室在零点工作时膜片上受到的压力没有变化，因此其状态十分稳定，不易受外界干扰的影响。零点稳定是这种串联型接收气室检测器的突出优点之一。

5、抗背景干扰能力强