[实用新型]不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器无效
申请号: | 200820089760.4 | 申请日: | 2008-04-18 |
公开(公告)号: | CN201199188Y | 公开(公告)日: | 2009-02-25 |
发明(设计)人: | 韩伟;张滨华;吴亚林;王世清;浦龙;张彤;刘建伟;张凤宏 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨市东北汽车电子工程技术研究开发中心 |
主分类号: | G01L7/10 | 分类号: | G01L7/10;G01L19/00 |
代理公司: | 哈尔滨东方专利事务所 | 代理人: | 陈晓光 |
地址: | 150000黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 不锈钢 膜片 隔离 封装 高温 高压 传感器 | ||
1.一种不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器,其组成包括:与波纹膜片、钢球连接的管座,其特征是:所述的波纹膜片上具有压环,所述的管座的凹槽内装有转接板,所述的转接板连接玻璃柱,所述的玻璃柱与硅片采用静电封接,所述的管座的接线柱连接有引线。
2.根据权利要求1所述的不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器,其特征是:所述的玻璃柱与转接板之间为低温玻璃烧结或焊接。
3.根据权利要求1所述的不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器,其特征是:所述的管座与波纹膜片之间的空腔内充满二甲基硅油。
4.根据权利要求1或2或3所述的不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器,其特征是:所述的管座同转接板通过焊接或过盈配合固定。
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