[实用新型]不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种高温高压传感器，具体的涉及一种不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器。

背景技术：

目前在航空、航天及石油化工等领域对压力传感器的需求日益增多，而对特种环境条件下的压力测量的需求也日益迫切，例如耐高温。普通的压力传感器由于受到PN结的耐温限制，最高使用温度仅为125℃。不能承受高温、高压和负压。

发明内容：

本实用新型的目的是提供一种不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，通过转接板的连接可以达到高温条件下结构稳固的作用。

上述的目的通过以下的技术方案实现：

不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，其组成包括：与波纹膜片、钢球连接的管座，所述的波纹膜片上具有压环，所述的管座的凹槽内装有转接板，所述的转接板连接玻璃柱，所述的玻璃柱与硅片采用静电封接，所述的管座的接线柱连接有引线。

所述的不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，所述的玻璃柱与转接板之间为低温玻璃烧结或焊接。

所述的不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，所述的管座与波纹膜片之间的空腔内充满二甲基硅油。

所述的不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，所述的管座同转接板通过焊接或过盈配合固定。

本实用新型的有益效果：

1.在不锈钢管座的凹槽内装有可伐材料的转接板，起到了应力隔离的作用。因为不锈钢的线膨胀系数在20-200℃为17，Si的线膨胀系数在300℃为2.5，玻璃的线膨胀系数在20-100℃为4-11，所以在中间加一个可伐材料的转接板(线膨胀系数为4.5)，可以起到即使在高温(300℃以上)条件下，也能使结构达到稳固的作用。

2.硅片与硼硅玻璃柱之间采用静电封接，硼硅玻璃柱与转接板之间采用低温玻璃烧结或焊接的方法，大大减小了传感器的蠕变与滞后影响。

附图说明：

附图1是本产品的结构示意图。

具体实施方式：

实施例1：

不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，其组成包括：与波纹膜片2、钢球3连接的不锈钢管座4，所述的波纹膜片上具有压环1，所述的管座上具有凹槽，所述的凹槽内装有转接板5，所述的转接板连接玻璃柱6，所述的玻璃柱与硅片7采用静电封接，所述的管座连接接线柱8，所述的接线柱连接内引线9。

实施例2：

不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，其组成包括：与波纹膜片2、钢球3连接的不锈钢管座4，所述的波纹膜片两端具有压环1，所述的管座上具有凹槽，所述的凹槽内装有转接板5，所述的转接板连接玻璃柱6，所述的玻璃柱与硅片7采用静电封接，所述的管座连接接线柱8，所述的接线柱连接内引线9。

所述的不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，所述的玻璃柱与转接板之间为低温玻璃烧结或焊接。所述的不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，所述的管座与波纹膜片之间的空腔内充满二甲基硅油10。所述的转接板采用可伐材料，所述的转接板可以是圆柱形状，也可以是其它形状的。所述的不锈钢膜片隔离充油封装的高温高压传感器，所述的管座同转接板可通过焊接或过盈配合固定。