[实用新型]基片装取片台以及包含这种装取片台的基片镀膜设备

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及片材加工领域，尤其是涉及一种基片装取片台以及包含有该装取片台的装取片设备。

【背景技术】

在很多片材的生产过程中，需要将基片进行镀膜。在镀膜时一般是将基片放置在载片架上，镀膜结束后再从载片架上取下基片。如在半导体的生产中，硅片的镀膜就有从载片架上装取硅片的步骤。载片架为一种球冠形，基片放置在其曲面上。惯常使用的装取片设备，有一工作平台，载片架设置其上。装取基片时，载片架无法旋转，操作人员在载片架曲面的某一部分装取完基片后，需要绕载片架走动以便在曲面的其他部分装取基片，工作效率低。或者需操作人员提起载片架旋转一定角度后再放置在工作平台上，不仅工作效率低，装取基片速度慢，而且在转动过程中，基片容易从载片架上滑落，造成碎片或划伤表面。

【实用新型内容】

本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种能够提高装取片速度，减少残次品的装取片台以及含有这种装取片台的装取片设备。

为解决上述技术问题，本实用新型提出以下技术方案：

一种基片装取片台，包含一支撑架以及相对于所述支撑架转动的托盘。

其中：所述支撑架和托盘之间设置有轴承。

其中：所述轴承为空心轴承。

其中：所述托盘的边沿还设置有凸起。

其中：所述托盘和支撑架采用不锈钢制成。

一种基片镀膜设备，包含工作平台，工作平台上设有可转动的装取片台，装取片台包含支撑架以及相对于支撑架转动的托盘。

其中：所述支撑架为所述工作平台的一部分。

其中：所述托盘为所述工作平台的一部分，相对其他部分可转动。

其中：所述支撑架和托盘之间设置有轴承。

其中：所述托盘的边沿设置有凸起或拉手。

本实用新型具有以下有益效果：

1.本实用新型采用一端固定，一端旋转的装取片台以及含有这种装取片台的装取片设备，载片架放置在可旋转的托盘上，可以通过旋转托盘带动载片架旋转，从而实现快速装取片；同时，由于载片架是手工慢速旋转，基片不易滑落，减少碎片或划伤基片表面的现象。

2.本实用新型的装取片台可以与镀膜设备一体制成，也可以为单独的设备，可以适应不同情况的需要。

3.本实用新型的托盘可以凸出于工作平台，方便转动，也可以为镀膜设备工作平台的一部分，节省空间。

【附图说明】

图1为本实用新型实施例一的正面剖视示意图。

图2为本实用新型实施例一轴承另一种安装方式的示意图。

图3为本实用新型实施例二的示意图。

1-工作平台   21-支撑架  221-凸起

2-装取片台   22-托盘    3-载片架

【具体实施方式】

下面结合实施例更进一步详细说明：

实施例一

如图1，基片镀膜设备设有工作平台1、基片装取片台2和用于承载基片的载片架3。基片装取片台2主要包含支撑架21，以及可以绕支撑架21旋转的托盘22。支撑架21用于将装取片台2固定在镀膜设备上，用于承载基片的载片架3设置在托盘1上。基片放置于载片架3的曲面上。由于托盘22可以绕支撑架21旋转，在转动托盘22时，其上的载片架3随之转动。托盘22和支撑架21可采用不锈钢制成。操作人员可以根据需要将载片架3转动，以方便装取基片，提高工作效率，而且控制好转动的速度，能够防止基片从载片架上滑落，有效的减少碎片以及划伤基片表面的现象发生。

为了使得托盘22相对于支撑架21的转动比较平稳，在托盘22和支撑架21的连接处最好设置轴承。轴承可以为环绕支撑架21的一个环形整体(空心轴承)，也可以为分散的多个。轴承的位置可以有如图1和图2所示的两种方式。

本实施例对于设备的使用者来说，仅需在现有设备的基础上进行上述改进，增加一个基片装取片台2即可。

实施例二

在实施例一的基础上，可以进行如下改进：

对于设备的生产商而言，可以在生产镀膜设备时就在工作平台1上设置一支撑架21。如图3所示，支撑架21为工作平台1的一部分，托盘22绕支撑架21旋转。也可以将工作平台1的中间部分做成可转动，即托盘22为工作平台1的一部分，支撑架21可视情况隐藏于工作平台1下或取消，载片架3还是放置在托盘22上。

实施三

如图1-3所示，为了方便操作人员在旋转时控制角度和速度，可以在托盘22的边缘部位设置凸起或拉手221，增强摩擦，方便旋转托盘22。