[实用新型]一种三维调节座有效

专利信息
申请号: 200820095791.0 申请日: 2008-07-25
公开(公告)号: CN201233886Y 公开(公告)日: 2009-05-06
发明(设计)人: 王胜利;康春凤;刘振辉 申请(专利权)人: 深圳市矽电半导体设备有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/68;H01L21/687;H01L21/66;G01R1/02
代理公司: 深圳创友专利商标代理有限公司 代理人: 郭晓芬
地址: 518000广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 三维 调节
【权利要求书】:

1.一种三维调节座,其特征在于:包括X向微调组件、Y向微调组件和Z向微调组件、固定座、关节轴承;所述X向微调组件与关节轴承内圈固定连接,所述关节轴承外圈与固定座连为一体,所述X向微调组件一端用于固定待调节物、另一端为X向调节器,所述Y向微调组件一端顶着X向微调组件,另一端为Y向调节器,所述Z向微调组件一端顶着X向微调组件,另一端为Z向调节器。

2.根据权利要求1所述的三维调节座,其特征在于:所述X向调节器为X向微调旋钮,所述X向微调组件还包括X向固定杆、X向微调螺母、X向微调螺杆、传递介质、压簧和移动杆;所述X向微调螺母固定在X向固定杆上,所述X向微调螺杆穿过X向微调螺母、一端与X向微调旋钮连接、另一端经传递介质顶住移动杆,所述压簧一端卡在X向固定杆、另一端卡在移动杆上。

3.根据权利要求2所述的三维调节座,其特征在于:所述Z向调节器为Z向微调旋钮,所述Z向微调组件还包括Z向微调螺母、Z向固定杆和Z向微调螺杆;所述Z向微调螺母固定在Z向固定杆上,所述Z向固定杆与固定座连接;所述Z向微调螺杆穿过Z向微调螺母、一端与Z向微调旋钮连接、另一端顶住X向固定杆。

4.根据权利要求2所述的三维调节座,其特征在于:所述Y向调节器为Y向微调旋钮,所述Y向微调组件还包括Y向微调螺母、Y向固定杆和Y向微调螺杆;所述Y向微调螺母固定在Y向固定杆上,所述Y向固定杆与固定座连接;所述Y向微调螺杆穿过Y向微调螺母、一端与Y向微调旋钮连接、另一端顶住X向固定杆;所述Y向微调螺杆与Y向微调螺母配合以实现旋转运动。

5.根据权利要求2-4任一所述的三维调节座,其特征在于:还包括第一拉簧和第二拉簧;所述第一拉簧一端拉住移动杆、另一端固定在固定座上;所述第一拉簧一端拉住移动杆、另一端固定在固定座上;所述第一拉簧的作用力与第二拉簧的作用力对称。

6.根据权利要求5所述的三维调节座,其特征在于:还包括固定底座,所述固定底座与固定座连接。

7.根据权利要求6所述的三维调节座,其特征在于:所述固定底座带有磁性。

8.根据权利要求1-4任一所述的三维调节座,其特征在于:所述待调节物为针杆。

9.根据权利要求2-4任一所述的三维调节座,其特征在于:所述传递介质为球。

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