[实用新型]折合式真空装置

权利要求书

1.一种折合式真空装置，供至少一片基板输送通过，其特征在于包括：一个第一腔体单元、一个与第一腔体单元对应并列的第二腔体单元、一个连接第一腔体单元与第二腔体单元的真空连接单元、多个安装在第一腔体单元上的第一靶材，及多个安装在第二腔体单元上的第二靶材，

该第一腔体单元包括内、外间隔相对的一片第一内壁与一片第一外壁、间隔相对地形成在第一内壁与第一外壁两端间的一个第一入口与一个第一出口，及多个彼此连接串列地形成在第一入口与第一出口间且供所述基板通过的第一腔室；

该第二腔体单元包括内、外间隔相对的一片第二内壁与一片第二外壁、间隔相对地形成在第二内壁与第二外壁两端间的一个第二出口与一个第二入口，及多个彼此连接串列地形成在第二出口与第二入口间且供所述基板通过的第二腔室，该第二内壁邻近第一内壁，且第二外壁远离第一内壁；

该真空连接单元包括一个安装在第一出口旁侧承接由第一出口输出的基板并转向送出的第一回转件，及一个安装在第二入口旁侧且将第一回转件送来的基板转向送入第二入口的第二回转件；

所述第一靶材分别安装在第一内壁与第一外壁的其中一片壁上且连通第一腔室；及

所述第二靶材分别安装在第二内壁与第二外壁的其中一片壁上且连通第二腔室。

2.如权利要求1所述的折合式真空装置，其特征在于：第一靶材是安装在第一外壁上，且第二靶材是安装在第二外壁上。

3.如权利要求2所述的折合式真空装置，其特征在于：第一靶材还安装在第一内壁上，且第二靶材还安装在第二内壁上。

4.如权利要求1所述的折合式真空装置，其特征在于：第一靶材是安装在第一外壁上，且第二靶材是安装在第二内壁上。

5.如权利要求4所述的折合式真空装置，其特征在于：第一靶材还安装在第一内壁上。

6.如权利要求1所述的折合式真空装置，其特征在于：该真空连接单元还包括一个连接在第一回转件与第二回转件间以供基板通过的连接腔体。

7.如权利要求6所述的折合式真空装置，其特征在于：该连接腔体具有一个连接腔室，该真空连接单元还包括至少一个安装在连接腔体上且连通该连接腔室的连接靶材。

8.如权利要求1所述的折合式真空装置，其特征在于：还包括一个用于输送所述基板的输送机构，该输送机构包括一个带动基板朝一第一方向输送通过所述第一腔室的第一输送单元、一个带动基板朝一第二方向输送通过所述第二腔室的第二输送单元，及一个带动基板朝一第三方向输送通过真空连接单元的第三输送单元，第一方向是由第一入口朝向第一出口，第二方向是由第二入口朝向第二出口且与第一方向平行相反，而第三方向则是由第一回转件朝向第二回转件且垂直于第一、二方向。