[实用新型]精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置有效
申请号: | 200820109190.0 | 申请日: | 2008-07-11 |
公开(公告)号: | CN201221942Y | 公开(公告)日: | 2009-04-15 |
发明(设计)人: | 孔敏;王友军;王冬;王佳佳 | 申请(专利权)人: | 北京金格兰石英玻璃有限公司 |
主分类号: | G01B21/20 | 分类号: | G01B21/20 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 赵镇勇 |
地址: | 100024北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 精密 测量 石英 玻璃棒 弯曲 装置 | ||
1、一种精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,包括主轴,所述主轴的一端设有卡盘,所述主轴通过前轴承和后轴承支撑。
2、根据权利要求1所述的精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,所述前轴承和后轴承为静压轴承,所述静压轴承的内壁与所述主轴之间设有环形空腔,所述静压轴承的壁上设有一个或多个油孔,所述环形空腔通过所述油孔与外部相通。
3、根据权利要求2所述的精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,所述静压轴承包括钢套,所述钢套内装有铜瓦,所述环形空腔设于所述铜瓦与所述主轴之间。
4、根据权利要求3所述的精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,所述铜瓦的内壁对应于所述油孔的部位设有油腔。
5、根据权利要求2、3或4所述的精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,所述油孔的外部连接有液压装置。
6、根据权利要求2、3或4所述的精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,所述油孔有4个,均匀分布在所述静压轴承的四周壁上。
7、根据权利要求1所述的精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,还包括支撑点,所述支撑点与所述卡盘相对且回转中心重合。
8、根据权利要求1所述的精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,还包括弯度检测传感器,所述弯度检测传感器的检测信号输入给控制装置。
9、根据权利要求8所述的精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,所述控制装置设有误差校准单元。
10、根据权利要求9所述的精密测量石英玻璃棒弯曲度的装置,其特征在于,所述控制装置为单片机或计算机。
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