[实用新型]一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮

权利要求书

1.一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：它包括以下几部分：

(1)正四边形的花篮主体；

(2)位于花篮主体上方、并与花蓝主体相接的支架，支架上装有用来防止腐蚀过程中硅片飘出花篮的阻挡杆。

2、根据权利要求1所述的一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：正四边形的其中两个对边，分别由四根立方形条为支架，两头和中间分别用方块连结而成；另外的两个对边，分别由两根立方形条和以一个方块连结而成。

3.根据权利要求2所述的一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：正四边形花篮主体的四个边中部各设一个支撑在硅片下方的支撑片。

4.根据权利要求3所述的一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：支撑片中的两个片位于里面下方的那根立方形条的中点，支撑片的另外两个片位于下边的那根立方形条的中点。

5.根据权利要求3或4所述的一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：四个支撑片的长度均为5mm，面积25mm²。

6.根据权利要求1所述的一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：位于花篮上方的支架上固定有四个阻挡杆，竖直地伸向花篮主体，并分别靠近花篮主体的四条边。

7.根据权利要求6所述的一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：阻挡杆的伸出的长度为50mm.

8根据权利要求1所述的一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：所述的支架上所固定的四个阻挡杆中的相对的两个阻挡杆旁边分别固定有用于钩住花蓝主体方块的挂钩。