[实用新型]渐层薄膜厚度的真空镀膜装置无效
| 申请号： | 200820127854.6 | 申请日： | 2008-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN201254600Y | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 李原吉;林忠炫 | 申请（专利权）人： | 德胜真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 真空镀膜 装置 | ||
1.一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于，其包括：
一溅镀腔体；
一传动系统，其设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具能够在所述的溅镀腔体的内部直线前进，所述的载具的顶面设有至少一个支撑件，所述的至少一个支撑件设有一固持部；以及
一溅镀源，其设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，所述的溅镀源具有一靶材料，所述的靶材料具有一表面，所述的靶材料表面与所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是呈一不等距离的配置。
2.根据权利要求1所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于：所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是垂直于所述的载具的顶面，所述的靶材料的表面是倾斜于所述的载具的顶面。
3.根据权利要求1所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于：所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是倾斜于所述的载具的顶面，所述的靶材料的表面是垂直于所述的载具的顶面。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于：所述的传动系统是进一步包含两轮轴固定座、复数轮轴以及一传动马达，所述的两轮轴固定座是分别设置在所述的溅镀腔体内部的两侧，所述的复数轮轴是可转动地间隔设置在所述的两轮轴固定座上，且相邻的轮轴是以一结合件相互连接，各轮轴的两端分别设有一滚轮，所述的传动马达是及其中一轮轴结合而可驱动各轮轴转动，所述的载具设置在各轮轴的滚轮上。
5.根据权利要求4所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于：所述的结合件是一链条。
6.根据权利要求4所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于：所述的结合件是一皮带。
7.一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于，其包括：
一溅镀腔体；
一传动系统，其设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具能够在所述的溅镀腔体的内部直线前进；以及
一溅镀源，其设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，所述的溅镀源具有一靶材料，所述的靶材料具有一表面，所述的靶材料表面倾斜于所述的载具的顶面。
8.根据权利要求7所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于：所述的传动系统是进一步包含两轮轴固定座、复数轮轴以及一传动马达，所述的两轮轴固定座是分别设置在所述的溅镀腔体内部的两侧，所述的复数轮轴是可转动地间隔设置在所述的两轮轴固定座上，且相邻的轮轴是以一结合件相互连接，各轮轴的两端分别设有一滚轮，所述的传动马达是及其中一轮轴结合而可驱动各轮轴转动，所述的载具设置在各轮轴的滚轮上。
9.根据权利要求8所述的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其特征在于：所述的结合件是一链条。
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