[实用新型]渐层薄膜厚度的真空镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜装置，尤指一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置。

背景技术

请参照图6与图7所示，现有的连续式真空镀膜装置是使复数被镀物90利用载具在一溅镀腔体70中进行直线前进运动，所述的溅镀腔体70中另装备有一溅镀源80，而使被镀物90在所述的溅镀腔体70中直线前进时可面对所述的溅镀源80的表面，进而使所述的溅镀源80的分子可镀覆在所述的被镀物90的表面，并在被镀物90的表面形成薄膜81，如图8所示。

然而，由于现有真空镀膜装置其溅镀源80表面与被镀物90表面形成等距离配置，因此当溅镀源80所提供的靶材分子镀覆在被镀物90表面时，被镀物90表面所形成的薄膜81是厚度一致。当薄膜81厚度一致时，则被镀物90表面所呈现的色泽与透光性也为一致而没有变化，此时被镀物90表面所呈现的外观质感则较为单调。

发明内容

有鉴于利用现有真空镀膜装置加工处理的被镀物表面的外观质感较为单调，本实用新型的主要目的在于提供一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其可使被镀物表面产生渐层变化的光泽或透光性。

为达成以上的目的，本实用新型的形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置是包括：

一溅镀腔体；

一传动系统，其设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具能够在所述的溅镀腔体的内部直线前进，所述的载具的顶面设有至少一个支撑件，所述的至少一个支撑件设有一固持部；以及

一溅镀源，其设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，所述的溅镀源具有一靶材料，所述的靶材料具有一表面，所述的靶材料表面与所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是呈一不等距离的配置。

较佳的是，所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是垂直于所述的载具的顶面，所述的靶材料的表面是倾斜于所述的载具的顶面。

较佳的是，所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面是倾斜于所述的载具的顶面，所述的靶材料的表面是垂直于所述的载具的顶面。

较佳的是，所述的传动系统是进一步包含两轮轴固定座、复数轮轴以及一传动马达，所述的两轮轴固定座是分别设置在所述的溅镀腔体内部的两侧，所述的复数轮轴是可转动地间隔设置在所述的两轮轴固定座上，且相邻的轮轴是以一结合件相互连接，各轮轴的两端分别设有一滚轮，所述的传动马达是及其中一轮轴结合而可驱动各轮轴转动，所述的载具设置在各轮轴的滚轮上。

较佳的是，所述的结合件是一链条或皮带。

本发明另包含一种形成渐层薄膜厚度的真空镀膜装置，其是包括：

一溅镀腔体；

一传动系统，其设置在所述的溅镀腔体的内部并包含一载具，所述的载具能够在所述的溅镀腔体的内部直线前进；以及

一溅镀源，其设置在所述的溅镀腔体的内部一侧，所述的溅镀源具有一靶材料，所述的靶材料具有一表面，所述的靶材料表面与所述的载具的顶面是呈一不等距离的配置。

较佳的是，所述的靶材料表面是倾斜于所述的载具的顶面。

与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于：本实用新型由于是使靶材料表面与所述的至少一个支撑件的固持部直线前进时所画出的平面形成不等距离的配置，或是使靶材料表面直接与载具顶面形成不等距离的配置，因此当固持部夹持一被镀物或是使被镀物直接放置在载具的顶面时，被镀物表面也与靶材料表面形成不等距离的配置，当被镀物随载具在溅镀腔体中直线前进以镀上靶材料分子时，被镀物表面可形成一厚度不一致的渐层薄膜，此薄膜由于其厚度的变化可产生光泽与透光度渐层改变效果，因此可赋予被镀物表面多变的外观装饰，提高被镀物的外观质感。

附图说明

图1是本实用新型较佳实施例的侧视示意图；

图2是本实用新型较佳实施例的上视示意图；

图3是被镀物表面利用本实用新型较佳实施例形成薄膜后的剖面示意图；

图4是本实用新型另一较佳实施例的侧视示意图；

图5是本实用新型另一较佳实施例的上视示意图；

图6是现有真空镀膜装置的侧视示意图；

图7是现有真空镀膜装置的上视示意图；

图8是被镀物表面利用现有真空镀膜装置形成薄膜后的剖面示意图。