[实用新型]光罩保护膜框体卸除装置

权利要求书

1、一种光罩保护膜框体卸除装置，用以卸除一光罩上的光罩保护膜框体，其中该光罩保护膜框体以胶材黏合一光罩与一框体，形成一内部空间以保护该光罩上的图形，该光罩保护膜框体卸除装置包含：

一底座元件；

至少一承载元件，设置于该底座元件上，用以承载该光罩；

至少一固定推杆，设置于该承载元件上，用以固定承载于该承载元件上的该具有光罩保护膜的光罩；

至少一卸除元件，设于该底座元件上，用以将该框体与该光罩分离；

其特征在于，具有至少一加热装置，与该底座元件具有电性相接，用以加热该具有光罩保护膜的光罩至一预定温度，使得黏合该框体与该光罩的胶材会遇热融化并附着于该框体上，而遇热融化并附着于该框体上的胶材可随该框体一并取出。

2、如权利要求1所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该框体具有至少一侧边，且该侧边上具有至少一插槽。

3、如权利要求1所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，当推动该固定推杆至该具有光罩保护膜的光罩时，该承载元件用以固定该具有光罩保护膜的光罩的四个角。

4、如权利要求1所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件包含至少一滑动轴设于该底座元件上。

5、如权利要求4所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一把手固定元件，由至少一连接构件与该滑动轴相连接。

6、如权利要求5所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一固定件，用以将该连接构件定位于该滑动轴上。

7、如权利要求5所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一把手元件，由至少一转动元件与该把手固定元件相连接。

8、如权利要求7所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一弹性梢，由至少一连动轴连接至该把手元件的一端。

9、如权利要求8所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，当推动该把手元件至定位并锁紧时，该弹性梢将定位于该具有光罩保护膜的光罩的上方。

10、如权利要求8所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一叉取梢，由该连动轴连接至该把手元件的该端。

11、如权利要求2或10项所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，当推动该把手元件至定位并锁紧时，该叉取梢会伸入该插槽中。

12、如权利要求7所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该转动元件设置于该叉取梢的下方，当该转动元件的短轴与该叉取梢接触时，该叉取梢位于该把手固定元件的底端，当该转动元件的长轴与该叉取梢接触时，该叉取梢是位于该把手固定元件的顶端。