[实用新型]用于溅镀设备更换靶材的辅助装置

权利要求书

1、一种用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，包括溅镀靶源(1)，该溅镀靶源(1)主要包括一叠置的阴极本体(11)及靶材(12)，其特征在于，所述辅助装置还包括：

一旋转机构(2)，该旋转机构(2)设于溅镀靶源(1)的侧边中段位置，该旋转机构(2)设一驱动机构(21)，该驱动机构(21)连接一轴杆(211)，该旋转机构(2)通过轴杆(211)与阴极本体(11)连接；该旋转机构(2)下方设一基架(22)，通过该基架(22)承载旋转机构(2)；

一伸缩机构(3)，该伸缩机构(3)与基架(22)通过连接元件(34)连接，该伸缩机构(3)主要包括一压缸(31)，压缸(31)通过连通管(33)连通一压棒(32)；

一辅助伸缩机构(4)，该辅助伸缩机构(4)设于溅镀靶源(1)的一侧边并对应旋转机构(2)的位置，该辅助伸缩机构(4)主要包括一压缸(45)，压缸(45)通过连通管连通一压棒(46)，辅助伸缩机构(4)与伸缩机构(2)对溅镀靶源(1)二侧形成伸缩的平衡，其中该辅助伸缩机构(4)通过一基架(41)形成支持，该基架(41)顶部设一连接元件(42)，且该基架(41)设一连接杆(44)串联连接元件(42)与一挂具(43)。

2、如权利要求1所述的用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，其特征在于：该溅镀靶源(1)的阴极本体(11)及靶材(12)叠置成板状且该阴极本体(11)叠置于靶材(12)之上。

3、如权利要求1所述的用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，其特征在于：该驱动机构(21)为伺服马达。

4、如权利要求1所述的用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，其特征在于：该基架(22)连接一挂具(221)，该挂具(221)利用连接元件(222)活动埋设结合于阴极本体(11)。

5、如权利要求1-4任一项所述的用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，其特征在于：该压缸(31)是气压缸或油压缸，压棒(32)是气压棒或油压棒。

6、如权利要求1-4任一项所述的用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，其特征在于：该压缸(45)是气压缸或油压缸，压棒(46)是气压棒或油压棒。

7、如权利要求1-4任一项所述的用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，其特征在于：该挂具(43)活动结合于阴极本体(11)，使阴极本体(11)与挂具(43)活动拆装以辅助伸缩机构(4)制动基架(41)伸缩，且连动溅镀靶源(1)形成升降。