[实用新型]连续式外观多层镀膜设备无效
| 申请号： | 200820138068.6 | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN201284371Y | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 郑兆希;黄昌文 | 申请（专利权）人： | 向熙科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 许 静 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连续 外观 多层 镀膜 设备 | ||
1.一种连续式外观多层镀膜设备，应用于工件外观多层镀膜环境中，其特征在于，该连续式外观多层镀膜设备包含：
对工件的镀膜全采用物理性制程的多个腔体；
用以隔离所述多个腔体并保证各腔体的真空度及/或洁净度的多个活动式闸门，设置于所述多个腔体的该些不同腔体之间；以及
用于传送工件的载具，在保证腔体的真空度及/或洁净度的前提下，可活动地穿设于该些不同腔体之间。
2.一种连续式外观多层镀膜设备，应用于工件外观多层镀膜环境中，其特征在于，该连续式外观多层镀膜设备包含：
对工件利用电浆做表面改质处理的第一腔体；
利用物理性的蒸镀或溅镀法产生出接口层的第二腔体；
以物理性的蒸镀或溅镀法加入一层以上的功能性膜层的一个以上的第三腔体；
利用蒸镀或溅镀法产生出表面硬化层的第四腔体；
用以隔离所述多个腔体并保证各腔体的真空度及/或洁净度的多个活动式闸门，设置于所述多个腔体的该些不同腔体之间；以及
用于传送工件的载具，在保证腔体的真空度及/或洁净度的前提下，可活动地穿设于该些不同腔体之间。
3.一种连续式外观多层镀膜设备，应用于工件外观多层镀膜环境中，其特征在于，该连续式外观多层镀膜设备包含：
全采用物理性制程对工件外观进行多层镀膜过程的多个腔体；
用以隔离所述多个腔体并保证各腔体的真空度及/或洁净度的多个活动式闸门，设置于所述多个腔体的该些不同腔体之间；以及
用于传送工件的载具，在保证腔体的真空度及/或洁净度的前提下，可活动地穿设于该些不同腔体之间。
4.如权利要求1、2、3任一项所述的连续式外观多层镀膜设备，其特征在于，该连续式外观多层镀膜设备呈直线排列。
5.如权利要求1、2、3任一项所述的连续式外观多层镀膜设备，其特征在于，该连续式外观多层镀膜设备呈“U”型排列。
6.如权利要求1、2、3任一项所述的连续式外观多层镀膜设备，其特征在于，该连续式外观多层镀膜设备呈环状排列。
7.如权利要求1、2、3任一项所述的连续式外观多层镀膜设备，其特征在于，该工件镀膜为3C产品外观件镀膜。
8.如权利要求1、2、3任一项所述的连续式外观多层镀膜设备，其特征在于，该工件镀膜为EMI防电磁波干扰镀膜。
9.如权利要求1、2、3任一项所述的连续式外观多层镀膜设备，其特征在于，该工件镀膜为塑料表面金属镀膜SDC。
10.如权利要求1、2、3任一项所述的连续式外观多层镀膜设备，其特征在于，该工件镀膜为铝镁合金镀膜。
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