[实用新型]连续式外观多层镀膜设备无效
申请号: | 200820138068.6 | 申请日: | 2008-09-24 |
公开(公告)号: | CN201284371Y | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
发明(设计)人: | 郑兆希;黄昌文 | 申请(专利权)人: | 向熙科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 许 静 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连续 外观 多层 镀膜 设备 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜设备,更详而言之,是有关于一种连续式外观多层镀膜设备。
背景技术
对于目前工业界的工件镀膜而言,一般所采取的方式为利用喷漆制程而对工件外观进行上色。然而此种已知技术的过程冗长,且由于所使用的制程为化学性方法制程,因而易对环境造成污染,且在工件生产率上也无法大幅予以提升,亦不符合环保趋势。
因此如何寻求一种镀膜设备,可应用于工件外观多层镀膜环境中,当对工件外观进行多层镀膜之时,对于工件外观所需的所有膜层,无须采用化学性方法制程,而全采用物理性制程,不对环境造成污染亦符合环保趋势,且能大幅提升工件生产率,乃是待解决的问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种连续式外观多层镀膜设备,应用于工件外观多层镀膜环境中,对工件外观进行多层镀膜时,对于工件外观所需的所有膜层,全采用物理性制程,而完全不需要化学性制程。
本实用新型的又一目的在于提供一种连续式外观多层镀膜设备,应用于工件外观多层镀膜环境中,对工件外观进行多层镀膜时,该连续式外观多层镀膜设备排列呈直线及/或呈U型及/或为环状排列,全采用物理性制程,不对环境造成污染,因此符合环保趋势。
本实用新型的再一目的在于提供一种连续式外观多层镀膜设备,应用于工件外观多层镀膜环境中,能大幅提升工件的生产率。
根据以上所述的目的,本实用新型提供一种连续式外观多层镀膜设备,该连续式外观多层镀膜设备位于连续式真空镀膜作业的工件入/出区之间,该连续式外观多层镀膜设备包含对工件的镀膜全采用物理性制程的多个腔体、用以隔离所述多个腔体并保证各腔体的真空度及/或洁净度的多个活动式闸门、以及用于传送工件的载具,所述载具在保证腔体的真空度及/或洁净度的前提下,可活动地穿设于该些不同腔体之间。
多个腔体用以对工件进行表面改质处理及/或产生接口层及/或加入一层以上的功能性膜层及/或产生表面硬化层,不同的腔体之间以活动式闸门予以隔离,以避免影响个别腔体的真空度及/或洁净度,于不同腔体之间,利用载具来传送工件。该连续式外观多层镀膜设备具有多个腔体而不同腔体之间具有活动式闸门,其中,于跨腔体之间经由载具传送工件时,将不会破坏腔体之真空度及/或洁净度。
本实用新型再一方面还提供另一种连续式外观多层镀膜设备,连续式外观多层镀膜设备包含:对工件利用电浆做表面改质处理的第一腔体;利用物理性的蒸镀或溅镀法产生出接口层的第二腔体;以物理性的蒸镀或溅镀法加入一层以上的功能性膜层的一个以上的第三腔体;利用蒸镀或溅镀法产生出表面硬化层的第四腔体;用以隔离所述多个腔体并保证各腔体的真空度及/或洁净度的多个活动式闸门,设置于所述多个腔体的该些不同腔体之间;以及用于传送工件的载具,在保证腔体的真空度及/或洁净度的前提下,可活动地穿设于该些不同腔体之间。
本实用新型的有益效果在于,所述连续式外观多层镀膜设备,对工件外观进行多层镀膜时,该连续式外观多层镀膜设备排列呈直线及/或呈“U”型及/或为环状排列,利用本实用新型的连续式外观多层镀膜设备,对工件外观进行多层镀膜过程时,首先,先利用电浆将工件做表面改质处理;继而,利用蒸镀或溅镀法产生出接口层来改善工件与功能性模层间的附着力;接着,以蒸镀或溅镀法将所需要的功能性膜层逐一加入;最后,利用蒸镀或溅镀法产生出表面硬化层来保护功能性膜层,因此本实用新型所述的连续式外观多层镀膜设备完全不需要化学性制程,而是利用物理性制程,因此能够改善化学性制程所造成的环保污染,且能大幅提升工件的生产率。
为使熟悉该项技术的工作人员了解本实用新型的目的、特征及功效,现藉由下述具体实施例,并配合所附的图式,对本实用新型详加说明。
附图说明
图1为一示意图,用以显示说明于连续式真空镀膜作业的工件入/出区之间的本实用新型所述连续式外观多层镀膜设备的位置;
图2为一示意图,用以显示说明如图1中本实用新型的连续式外观多层镀膜设备的施行结构;以及
图3为一流程图,用以显示说明利用于图2中的连续式外观多层镀膜设备,以对工件外观进行多层镀膜的过程。
主要元部件符号说明
1 连续式外观多层镀膜设备
2 工件入区
3 工件出区
11 12 13 14 腔体
15 活动式闸门
16 载具
101 102 103 104 步骤
具体实施方式
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