[实用新型]溅镀机真空腔保护装置无效
| 申请号： | 200820139274.9 | 申请日： | 2008-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN201214678Y | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 郭晓明 | 申请（专利权）人： | 广东中唱一帆科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 汕头市潮睿专利事务有限公司 | 代理人： | 丁德轩 |
| 地址： | 515100广东省汕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅镀机真 空腔 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种溅镀机真空腔保护装置，包括真空腔、电磁阀、高速分子泵、油式真空泵，其特征在于：还包括油分离器，所述真空腔的入口连接电磁阀，真空腔的出口连接高速分子泵入口，高速分子泵的出口连接油分离器入口，油分离器的出口连接油式真空泵入口。
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