[实用新型]多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构

权利要求书

1.一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，包括坩埚和平台，坩埚设于平台上面，其特征在于：在平台的上表面，从平台中心沿径向向外，开设有数条径向导流槽；围绕平台中心开设有数条纬向导流槽，径向导流槽和纬向导流槽相交成网状结构；在最外圈的纬向导流槽的边缘，开设有一个或多个导流口，从坩埚流到平台上的硅液由此处流走；平台底部的周边设有倒角，倒角可防止硅液流向平台底面；一环形凝固槽，其内周设于平台的下面倒角的里面，其外周延伸到平台的外面，从导流槽流出硅液，无论是否从导流口流出，均应能直接流入该凝固槽内，从倒角滴下的硅液也能够落入凝固槽内。

2.根据权利要求1所述的多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，其特征在于：所述径向导流槽的数量为4～24个。

3.根据权利要求1所述的多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，其特征在于：所述纬向导流槽的间距，可以是等间距或不等间距；纬向导流槽的走向形状与平台周边的形状相似；纬向导流槽的数量为1个到8个之间。

4.根据权利要求1所述的多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，其特征在于：所述径向导流槽和纬向导流槽的深度深度和宽度为5mm到40mm之间，导流槽的截面形状为向上开口的半圆、V形、方形。

5.根据权利要求1所述的多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，其特征在于：所述径向导流槽从中心向外越来越深，纬向导流槽的深度跟与其相交的径向导流槽的深度相同。

6.根据权利要求1所述的多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，其特征在于：所述凝固槽的厚度，以坩埚内所有硅液全部泄漏时能将硅液吸收为限；所述凝固槽的容量以能够装下坩埚内全部的硅液为限。

7.根据权利要求1所述的多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，其特征在于：所述凝固槽的周边，以及各个导流口的下部，分别设有硅液传感器，该硅液传感器为线状传感器。

8.根据权利要求1所述的多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，其特征在于：所述平台的材料由高温耐火材料组成，可以是石墨、石英、钨钼合金。

9.根据权利要求1所述的多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构，其特征在于：所述凝固槽由耐火材料组成，该耐火材料由高铝或碳纤材料构成。