[实用新型]多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构无效

专利信息
申请号: 200820152971.8 申请日: 2008-09-11
公开(公告)号: CN201201902Y 公开(公告)日: 2009-03-04
发明(设计)人: 史珺;宗伟峰 申请(专利权)人: 上海普罗新能源有限公司
主分类号: C01B33/02 分类号: C01B33/02;C01B33/037
代理公司: 北京必浩得专利代理事务所 代理人: 李梦福
地址: 201300上海市南*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 多晶 提纯 铸锭 泄漏 防护 机构
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于多晶硅提纯或铸锭领域,特别涉及一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构。

背景技术

在真空熔炼提纯太阳能多晶硅或进行多晶硅铸锭时,由于各种原因,承载硅料的坩埚难免会发生破裂,而导致硅液泄漏。硅液一旦泄漏,会损坏支撑坩埚的机构(通常是石墨)和炉体,严重的,会导致炉底被熔穿,而使炉壁的冷却水与高温硅液发生接触,而导致爆炸,甚至人身伤亡。

硅液泄漏由多种原因引起,如坩埚本身有隐形缺陷,硅液与坩埚或其表面涂层发生化学反应导致坩埚侵蚀,硅液凝固时膨胀导致坩埚涨裂,等等。尽管采取种种措施,在多晶硅铸锭和提纯的时候,硅液泄漏依然难以避免。

发明内容

本实用新型的目的为了避免由于硅液泄漏而引发的种种危险,而开发一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构,在硅液万一发生泄漏的时候,该机构能保护炉体和炉内的设备,防止设备损坏和爆炸的发生,保护炉前操作工人的人身安全。

本实用新型的目的是按如下的方式来实现的:所述多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构,包括坩埚和平台,坩埚设于平台上面,其特征在于:在平台的上表面,从平台中心沿径向向外,开设有数条径向导流槽;围绕平台中心开设有数条纬向导流槽,径向导流槽和纬向导流槽相交成网状结构;在最外圈的纬向导流槽的边缘,开设有一个或多个导流口,从坩埚流到平台上的硅液由此处流走;平台底部的周边设有倒角,倒角可防止硅液流向平台底面;一环形凝固槽,其内周设于平台的下面倒角的里面,其外周延伸到平台的外面,从导流槽流出硅液,无论是否从导流口流出,均应能直接流入该凝固槽内,从倒角滴下的硅液也能够落入凝固槽内。

所述径向导流槽的数量为4~16个。

所述纬向导流槽的间距,可以是等间距或不等间距;纬向导流槽的走向形状与平台周边的形状相似;纬向导流槽的数量为1个到8个之间。

所述径向导流槽和纬向导流槽的深度深度和宽度为5mm到40mm之间,导流槽的截面形状为向上开口的半圆、V形、方形。

所述径向导流槽从中心向外越来越深,纬向导流槽的深度跟与其相交的径向导流槽的深度相同。

所述凝固槽的厚度,以坩埚内所有硅液全部泄漏时能将硅液吸收为限;所述凝固槽的容量以能够装下坩埚内全部的硅液为限。

所述凝固槽的周边,以及各个导流口的下部,分别设有硅液传感器,该硅液传感器为线状传感器。

所述平台的材料由高温耐火材料组成,可以是石墨、石英、钨钼合金。

所述凝固槽由耐火材料组成,该耐火材料由高铝或碳纤材料构成。

本实用新型的积极效果如下:由于平台上设有导流槽,平台下面设有凝固槽,一旦坩埚损坏导致硅液泄漏,泄漏的硅液全部可以通过平台上的导流槽而流入凝固槽内,所以彻底避免了各种危险情况的发生。

附图说明

图1是本实用新型结构图

图2是平台俯视结构图

图中:1 坩埚         2 平台        3 径向导流槽

      4 纬向导流槽   5 导流口      6 倒角

      7 凝固槽

具体实施方式

如图1图2所示,所述多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构,包括坩埚1和平台2,坩埚1设于平台2上面,其特征在于:在平台2的上表面,从平台中心沿径向向外,开设有数条径向导流槽3;围绕平台中心开设有数条纬向导流槽4,径向导流槽3和纬向导流槽4相交成网状结构;在最外圈的纬向导流槽4的边缘,开设有一个或多个导流口5,从坩埚1流到平台2上的硅液由此处流走;平台2底部的周边设有倒角6,倒角6可防止硅液流向平台底面;一环形凝固槽7,其内周设于平台2的下面倒角6的里面,其外周延伸到平台2的外面,从导流槽流出硅液,无论是否从导流口流出,均应能直接流入该凝固槽内,从倒角滴下的硅液也能够落入凝固槽内。

所述径向导流槽3的数量为4~16个。

所述纬向导流槽4的间距,可以是等间距或不等间距;纬向导流槽4的走向形状与平台2周边的形状相似;纬向导流槽4的数量为1个到8个之间。

所述径向导流槽3和纬向导流槽4的深度深度和宽度为5mm到40mm之间,导流槽的截面形状为向上开口的半圆、V形、方形。或其它形状。其开口过窄导流效果不好,过宽会影响坩埚底部的热场。

所述径向导流槽3从中心向外越来越深,纬向导流槽4的深度跟与其相交的径向导流槽3的深度相同。

所述凝固槽7的厚度,以坩埚内所有硅液全部泄漏时能将硅液吸收为限;所述凝固槽的容量以能够装下坩埚内全部的硅液为限。

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