[实用新型]传感器支承板有效
| 申请号： | 200820155354.3 | 申请日： | 2008-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN201298074Y | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 陈涛;文关权;王利 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481;G01S17/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传感器 支承 | ||
【权利要求书】：
1.一种传感器支承板，在靠近所述传感器支承板的一端设有用于固定传感器的第一开孔，在靠近所述传感器支承板的另一端上设有至少一个将所述传感器支承板固定于机台的第二开孔，其特征在于：所述第二开孔在纵向方向延伸形成。
2.如权利要求1所述的一种传感器支承板，其特征在于：所述第二开孔为圆孔在纵向方向延伸形成。
3.如权利要求1所述的一种传感器支承板，其特征在于：所述第二开孔在纵向方向呈椭圆状。
4.如权利要求1所述的一种传感器支承板，其特征在于：所述第二开孔在纵向方向呈长方形状。
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