[实用新型]一种偏压式等离子源以及包含其的等离子处理机构

权利要求书

1、一种偏压式等离子源，其特征在于包括：

一支撑体；

一电极盘，系配置于该支撑体上方；

一旋转连接器，系配置于该支撑体下方；以及

一导线，系将该旋转连接器以及该电极盘电性连接。

2、如权利要求1所述的偏压式等离子源，其特征在于，包括一绝缘体，配置于该电极盘与该支撑体之间。

3、如权利要求1所述的偏压式等离子源，其特征在于，该旋转连接器为一水银接头。

4、如权利要求1所述的偏压式等离子源，其特征在于，该旋转连接器内还具有一冷却室、一进气口、以及一排气口。

5、如权利要求1所述的偏压式等离子源，其特征在于，还包括一挡板，且该挡板配置于该电极盘下方，且挡板的电性为接地电位。

6、如权利要求1所述的偏压式等离子源，其特征在于，还包括一旋转驱动器，且该旋转驱动器配置于该电极盘下方。

7、如权利要求2所述的偏压式等离子源，其特征在于，该绝缘体的材质为陶瓷。

8、一种等离子处理机构，其特征在于包括：

一反应腔，包括一底板、一顶板、一周壁、以及一进料门，且该反应腔具有一进气口以及一排气口；以及

一偏压式等离子源，配置于该反应腔内，并包括：

一支撑体；

一电极盘，配置于该支撑体上方；一旋转连接器，配置于该支撑体下方；以及

一导线，将该旋转连接器以及该电极盘电性连接。

9、如权利要求8所述的等离子处理机构，其特征在于，该偏压式等离子源还包括一绝缘体，配置于该电极盘与该支撑体之间。

10、如权利要求8所述的等离子处理机构，其特征在于，该旋转连接器为一水银接头。

11、如权利要求8所述的等离子处理机构，其特征在于，该旋转连接器内还具有一冷却室、一进气口、以及一排气口。

12、如权利要求8所述的等离子处理机构，其特征在于，该偏压式等离子源还包括一挡板，且该挡板配置于该电极盘下方。

13、如权利要求8所述的等离子处理机构，其特征在于，该偏压式等离子源还包括一旋转驱动器，且该旋转驱动器配置于该电极盘下方。

14、如权利要求9所述的等离子处理机构，其特征在于，该绝缘体的材质为陶瓷。