[实用新型]一种XY定位平台装置有效
| 申请号： | 200820214135.8 | 申请日： | 2008-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN201373219Y | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 林琳 | 申请（专利权）人： | 清溢精密光电(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;G01D11/00 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 xy 定位 平台 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种XY定位平台装置，包括安装基座和装置在安装基座上的相互垂直运动的Y平台和XY平台，其特征在于：所述Y平台和XY平台均开设有供透射光或背光照明光通过的透光开口，所述Y平台设有X导轨，所述XY平台中置于所述X导轨上。
2、如权利要求1所述的XY定位平台装置，其特征在于：还包括与XY平台重心处于同一或近似同一水平高度的解藕装置，所述解藕装置与XY平台连接。
3、如权利要求1所述的XY定位平台装置，其特征在于：所述XY平台设有XY平台导轨，所述XY平台导轨与XY平台为整体结构。
4、如权利要求1所述的XY定位平台装置，其特征在于：所述安装基座、Y平台和XY平台用同一材料制作而成。
5、如权利要求4所述的XY定位平台装置，其特征在于：所述安装基座、Y平台和XY平台均用花岗岩制作而成。
6、如权利要求4所述的XY定位平台装置，其特征在于：所述Y平台的两侧还分别设有用合金材料制作而成的空气轴承安装基座，所述空气轴承安装基座之间没有连接。
7、如权利要求1所述的XY定位平台装置，其特征在于：还设有用于驱动Y平台和XY平台移动的摩擦驱动装置。
8、如权利要求7所述的XY定位平台装置，其特征在于：所述摩擦驱动装置为摩擦轮摩擦杆摩擦驱动装置。
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