[实用新型]一种XY定位平台装置

说明书

技术领域

本实用新型属于超精密定位设备领域，尤其涉及一种XY定位平台装置。

背景技术

XY定位平台装置，是很多自动化生产和测量设备的基础装置。多年来，为了满足不同的应用需要，人们发展了很多种结构形式的XY定位平台。其中，在某些高精度的应用领域，有一种XY平台是由十字形的中间部件兼当滑块和导轨的。但是，常见的这些十字滑块式的XY平台有如下缺点：

1、某些应用领域，如测量，需要从工件下面提供透射光或者背光照明，而传统的十字滑块会挡住光线的射出，难以满足某些工艺中对透射光或者背光照明光线需要。

2、某些平台，为了达到十字滑块不挡透射光的目的，将十字滑块其中上部的导轨由中置改为旁置，十字变成T字，而这导致了导轨单边导向，离导轨远处的平台部的微观偏摆较大，十字滑块的精度下降。

3、当平台上部需要安装其它应用部件，如夹具或者激光干涉仪的测量基准镜时，因为传统XY平台设有的解藕装置的驱动力的水平高度高于XY平台，导致XY平台及其负载部件的重心高度偏离驱动力较大，不利于精度的提高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种XY定位平台装置，旨在解决现有技术中存在的XY平台挡住了某些工艺中需要的透射光或者背光照明光线，难以满足生产的需要以及十字滑块其中上部的导轨旁置导致整个XY平台局部微观偏摆较大、精度下降的问题。

本实用新型是这样实现的，一种XY定位平台装置，包括安装基座和装置在安装基座上的相互垂直运动的Y平台和XY平台，所述Y平台和XY平台均开设有供透射光或背光照明光通过的透光开口，所述Y平台设有X导轨，所述XY平台中置于X导轨上。

采用以上技术方案后，Y平台和XY平台开设的透光开口可以使光线顺利通过，满足某些生产的需要；XY定位平台装置设有XY平台中置安装于Y平台导轨上，可使Y平台带动XY平台运动时，XY平台重心不再偏置，从而有效的解决了XY定位平台远离Y平台导轨导致局部微观偏摆较大、精度下降的问题。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的XY定位平台装置的立体示意图。

图2是本实用新型实施例提供的XY定位平台装置的爆炸示意图。

图3是本实用新型实施例提供的XY定位平台装置X轴方向的剖视示意图。

图4是本实用新型实施例提供的XY定位平台装置Y轴方向的剖视示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请参阅图1、图2和图4，本实用新型XY定位平台装置包括安装基座10、Y平台20、XY平台30、X轴摩擦轮摩擦杆摩擦驱动装置31和Y轴摩擦轮摩擦杆摩擦驱动装置22；所述Y平台20设有用于供XY平台30移动的两根相互平行的X导轨21，所述X导轨21位于Y平台20的中间位置，该X导轨21之间设有供光线通过的Y平台透光孔25和Y平台孔26，其中，所述在Y平台20开设Y平台孔26是为了减轻Y平台20的重量。Y平台20的两端面各设有一个空气轴承安装基座24，所述空气轴承安装基座24上设有数个与安装基座10表面相接触的空气轴承4。在Y平台20的Y轴方向设有用于驱动Y平台20移动的Y轴摩擦轮摩擦杆摩擦驱动装置22，所述的Y轴摩擦轮摩擦杆摩擦驱动装置22设有用于连接Y平台20的Y轴摩擦杆23。在XY平台30的X轴方向设有用于驱动XY平台30移动的X轴摩擦轮摩擦杆摩擦驱动装置31，所述的X轴摩擦轮摩擦杆摩擦驱动装置31设有用于连接XY平台30的X轴摩擦杆32。

请参阅图1、图2和图3，所述XY平台30下方的X轴方向开设有用于与X导轨21相适配的XY平台方槽35，所述XY平台方槽35位于XY平台30的中间位置，大小与X导轨21相适应，其与X导轨21的配合面设有数个空气轴承4。所述XY平台30的中央还开设有透光开口36，所述透光开口36呈方形，该XY平台30开设有的透光开口36和Y平台20开设的Y平台透光孔25可使基台10下发射的透射光或背光照明光顺利从Y平台20和XY平台30中通过，克服了现有技术中十字滑块存在的挡住透射光或背光照明光通过的问题，满足生产工艺的需要。