[实用新型]硅片自动装片机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片自动装片机，用于安装硅片。

背景技术

目前，我国对硅片的装片还是处于人工装片状态。硅片又薄又脆，一不小心就会碎片。若用人工装片每天8小时不停地机械式装片一是人要始终处于高度集中，二是人容易疲劳，三是花篮盒片槽距离和片格尺寸有一定要求，由于人们长期处于疲劳工作中，人的四肢会僵化、大脑反应迟钝、眼花缭乱，导致装片时对不准片槽，装片效率低，稍不留神硅片就碎了，造成很大浪费。四是工人的劳动强度大。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种装片效率高、装片时对准片槽方便、大大减少硅片破碎概率、提高生产效率的硅片自动装片机。

按照本实用新型提供的技术方案，所述硅片自动装片机，包括水箱与花篮盒，在水箱侧壁通过固定导轨横档架设有导轨，导轨的顶端部设有与丝杠传动部分的连接板，在导轨上通过滚轮滑动连接有装片小车，在装片小车上通过固定螺钉固设有花篮盒座，花篮盒直接放入花篮盒座内，在水箱上通过支承滑片槽装置设置有滑片槽，滑片槽的出料端向下倾斜并指向导轨上滚动的花篮盒，在滑片槽的进料端通过出水接头连接有滑片槽进水管。

在水箱上设有回水管，回水管的出水端连接有蓄水箱，在蓄水箱的底端侧壁设有通磁力泵接口。导轨与滑片槽呈垂直设置。在滑片槽一侧的水箱侧壁固定有水槽，在水槽侧壁开设有水槽进水口。

通磁力泵接口通过管道连接有磁力泵，磁力泵的出水管道上设有过滤机，过滤机的出水管分叉并分别与滑片槽进水管、水槽进水口相连接，与滑片槽进水管的进水端相连的管道上设有第一开关阀，与水槽进水口的进水端相连的管道上设有第二开关阀。

本实用新型为机电一体化产品，由伺服电机、滚珠丝杠实现精确传动，通过数控装置可靠地实现自动装片。由于采用PLC可编程控制器，程序运行可靠，功能齐全，各种运行模式均可在控制面板上调节、设定。可多工位装片，一次可装75片，自动化程度高，能大大减轻工人劳动强度，能替代人工自动将硅片放入盒内。适用范围宽，根据不同硅片尺寸，只要更换少量零件，就能快速变换所需工装。操作调整方便，设备设有工作零位和工作位置校准功能，当不同用户使用不同花篮盒时，每片格的位置略有不同，这时可通过面板上的校准键进行微调，快速、准确、精度高，按确认键后便可使用。能大大降低装片破损率，提高效能和利用率，减少浪费。硅片放入水槽经粗清洗后再经水流自动装入盒子后，硅片已经过了两次清洗，为下道工序创造了良好的条件。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的水路图。

图3是本实用新型的电气控制框图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图所示：本实用新型主要由通磁力泵接口1、蓄水箱2、回水管3、水箱4、导轨5、与丝杠传动部分连接板6、工作零位7、花篮盒8、装片小车9、花篮盒工装10、支承滑片槽装置11、滑片槽12、出水接头13、水槽进水口14、水槽15、工作起始位16、固定螺钉17、滑片槽进水口18、滚轮19、固定导轨横档20、电磁阀21、第三开关阀22、第二开关阀23、第一开关阀24、过滤机25与磁力泵26等构成。

本实用新型的硅片自动装片机，包括水箱4与花篮盒8，在水箱4侧壁通过固定导轨横档20架设有导轨5，小车9的顶端部设有与丝杠传动部分的连接板6，滚轮19连接于小车9并在导轨5上滚动，在小车9上通过固定螺钉17固设有花篮盒8，在水箱4上通过支承滑片槽装置11设置有滑片槽12，滑片槽12的出料端向下倾斜并指向导轨5上移动的花篮盒8，在滑片槽12的进料端通过出水接头13连接有滑片槽进水管18。

在水箱4上设有回水管3，回水管3的出水端连接有蓄水箱2，在蓄水箱2的底端侧壁设有通磁力泵接口1。导轨5与滑片槽12呈垂直设置。在滑片槽12一侧的水箱4侧壁固定有水槽15，在水槽15侧壁开设有水槽进水口14。

通磁力泵接口1通过管道连接有磁力泵26，磁力泵26的出水管道上设有过滤机25，过滤机25的出水管分叉并分别与滑片槽进水管18、水槽进水口14相连接，与滑片槽进水管18的进水端相连的管道上设有第一开关阀24，与水槽进水口14的进水端相连的管道上设有第二开关阀23。