[实用新型]组合油膜静压轴承式水平滑台

权利要求书

1、一种组合油膜静压轴承式水平滑台，包括台面和台座，其特征在于：在台面与台座之间设有一组油膜承载轴承和一组油膜导向轴承；

所述油膜承载轴承由一个横截面为倒“T”形的“T”形滑动导轨和一个横截面为倒“T”形的“T”形导槽配合构成，其中，“T”形滑动导轨两肩上下两侧的两个水平面分别与“T”形导槽两肩上下两侧对应的两个水平面间隙配合，并形成上下两个相互平行的配合面，这两个配合面的间隙中设有静压油膜，该静压油膜由设在“T”形导槽上的供油孔提供，以此在垂直方向和倾覆力矩方向形成油膜压力差动平衡的支撑结构；所述“T”形滑动导轨作为轴承的运动部件与台面固定连接，所述“T”形导槽作为轴承的供油支承座与台座固定连接；

所述油膜导向轴承由一个横截面为矩形的矩形滑动导轨和一个横截面为矩形的矩形导槽配合构成，其中，矩形滑动导轨左右两侧的两个垂直面分别与矩形导槽左右两侧对应的两个垂直面间隙配合，并形成左右两个相互平行的配合面，这两个配合面的间隙中设有静压油膜，该静压油膜由设在矩形导槽上的供油孔提供，以此在水平方向形成油膜压力差动平衡的导向结构；所述矩形滑动导轨作为轴承的运动部件与台面固定连接，所述矩形导槽作为轴承的供油导向座与台座固定连接；

所述一组油膜承载轴承在台座水平平面内以台座中心为基点前后和左右均对称布置；所述一组油膜导向轴承在台座水平平面内以台座中心为基点前后和左右均对称布置；每个油膜承载轴承和每个油膜导向轴承的滑动方向均平行于台面的滑动方向，而且每个油膜承载轴承和每个油膜导向轴承均布置在台座水平平面内的不同部位。

2、根据权利要求1所述的组合油膜静压轴承式水平滑台，其特征在于：在台面与台座之间还设有一组油膜浮动轴承，油膜浮动轴承由轴承座和台面底部的平面组成，轴承座顶部设有平台，平台上设有油槽，油槽中设有进油孔，轴承座与台座固定连接，平台与台面底部的平面间隙配合，并形成水平方向的配合面，该配合面的间隙中设有静压油膜，以此在垂直方向上形成油膜压力支撑的浮动结构；所述一组油膜浮动轴承在台座水平平面内以台座中心为基点前后和左右均对称布置，而且每个油膜浮动轴承、每个油膜承载轴承和每个油膜导向轴承均布置在台座水平平面内的不同部位。