[实用新型]一种欧姆接触式射频开关有效
| 申请号： | 200820233705.8 | 申请日： | 2008-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN201518299U | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;侯智昊;李志坚;刘红超 | 申请（专利权）人： | 清华大学;上海得倍电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01P1/10 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王朋飞 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 欧姆 接触 射频 开关 | ||
【权利要求书】：
1.一种欧姆接触式射频开关，包括信号电极、下电极、衬底及固定端固支于所述信号电极的悬臂梁，其特征在于，还包括斜拉梁，
所述斜拉梁与所述悬臂梁的自由端连接，并通过锚点固支于所述衬底。
2.如权利要求1所述的欧姆接触式射频开关，其特征在于，还包括电阻线及金属桥，
所述金属桥的两端跨接在分开的地电极上，地电极和信号电极组成共面波导，
所述电阻线穿过所述金属桥与外部相连，对所述下电极进行驱动。
3.如权利要求2所述的欧姆接触式射频开关，其特征在于，所述下电极与电阻线为同种材料。
4.如权利要求3所述的欧姆接触式射频开关，其特征在于，所述下电极与电阻线的材料为SiCr或TaN。
5.如权利要求2或3所述的欧姆接触式射频开关，其特征在于，所述悬臂梁、斜拉梁以及共面波导为全金属结构。
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