[实用新型]多晶环装置有效
申请号: | 200820235200.5 | 申请日: | 2008-12-18 |
公开(公告)号: | CN201340845Y | 公开(公告)日: | 2009-11-04 |
发明(设计)人: | 卢炳昌 | 申请(专利权)人: | 先进光电器材(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 | 代理人: | 张 明 |
地址: | 518115广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 装置 | ||
1、一种多晶环装置,其特征在于:包括顶针器、至少两晶片环、连接盘、转轴、离合器、连接板、固定座、分别提供旋转运动和上升下降运动的第一动力源和第二动力源,该顶针器与该固定座相对固定,该至少两晶片环固定于该连接盘上,该第一动力源带动该转轴转动,该离合器包括离合主动件和离合从动件,该离合从动件和连接盘相对固定该转轴的两端,该离合主动件固定在该固定座上,该第二动力源与该连接板连接,并通过该连接板带动该离合从动件上升下降,使其与该离合主动件分离或结合。
2、根据权利要求1所述的多晶环装置,其特征在于:该固定座包括侧板,该侧板装设有直导轨,该连接板固设有另一侧板,该侧板上设有引导条,该引导条与该直导轨滑动配合。
3、根据权利要求2所述的多晶环装置,其特征在于:该多晶环装置还包括同步带、第一带轮和第二带轮,第一带轮和第二带轮通过该同步带传动连接,该第一带轮分别与该转轴和连接盘固定,该连接盘、第一带轮、转轴、离合从动件和离合主动件均同轴设置,该第二带轮与第一动力源连接。
4、根据权利要求3所述的多晶环装置,其特征在于:该第一动力源包括一驱动轴,该驱动轴与该转轴并排设置,该连接板可转动地套设在该转轴和驱动轴上,并位于该连接盘和离合从动件之间。
5、根据权利要求2所述的多晶环装置,其特征在于:该转轴与第一动力源通过齿轮传动连接。
6、根据权利要求2所述的多晶环装置,其特征在于:该转轴与第一动力源通过链条传动连接。
7、根据权利要求1所述的多晶环装置,其特征在于:该离合从动件和离合主动件为端面齿牙离合器。
8、根据权利要求1所述的多晶环装置,其特征在于:所述第一动力源为旋转马达。
9、根据权利要求1所述的多晶环装置,其特征在于:所述第二动力源为气动件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造