[发明专利]形成多种尺寸光电器件的生产线模块无效

专利信息
申请号: 200880000176.X 申请日: 2008-08-29
公开(公告)号: CN101541486A 公开(公告)日: 2009-09-23
发明(设计)人: 罗伯特·Z·巴克拉克;蔡用起;崔寿永;尼古拉斯·G·J·德弗里;雅科夫·埃尔格;埃里克·A·恩格尔哈特;米歇尔·R弗赖;查尔斯·盖伊;帕里斯·霍金斯;乔伊·胡;詹姆斯·克雷格·亨特;潘查拉·N·坎卡纳拉;李利伟;温·胡·罗;丹尼·卡姆·托恩·鲁;方·梅;斯蒂芬·P·墨菲;斯鲁杰尔·帕特尔;马修·J·B·桑德斯;阿萨夫·施莱辛格;舒然·沈;苏杰发;杰弗里·S·沙利文;戴维·坦纳;特雷莎·特罗布里奇;布赖斯·沃克;约翰·M·怀特;泰·K·王 申请(专利权)人: 应用材料股份有限公司
主分类号: B26D3/06 分类号: B26D3/06;H01L21/00
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人: 徐金国
地址: 美国加*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 形成 多种 尺寸 光电 器件 生产线 模块
【权利要求书】:

1.一种用于划分太阳能电池器件的模块,其包括

入料传送器,其被构成为接收自系统控制器的指令并将太阳能电池器件传输到模块的划片台;

划片机械装置,其被构成为接收自系统控制器的指令并将图案划到太阳能电池器件的第一表面中;

第一定位机械装置,其被构成为接收自系统控制器的指令并在第一破裂机械装置上方精确定位被划线的太阳能电池器件;和

第一致动器,其被构成为接收自系统控制器的指令并升高第一破裂机械装置。

2.如权利要求1的模块,还包括:

交叉传输台,其具有传送器和第二定位机械装置,其中传送器被定位成从第一定位机械装置接收太阳能电池器件的一部分,且其中第二定位机械装置被构成为接收自系统控制器的指令并精确定位在第二破裂机械装置上方的太阳能电池器件的该部分;

第二致动器,其被构成为接收自系统控制器的指令并升高第二破裂机械装置;和

出料传送器,其被设置成接收太阳能电池器件的上述部分的一部分。

3.如权利要求2的模块,其中第一和第二破裂机械装置是延长的辊。

4.如权利要求3的模块,其中第一破裂机械装置沿着第一轴延伸和第二破裂机械装置沿着第二轴延伸,且其中第一和第二轴基本上相互垂直。

5.如权利要求1的模块,其中划片机械装置是机械划片轮。

6.如权利要求1的模块,其中划片机械装置是激光划片器件。

7.一种划分部分处理的太阳能电池器件的方法,包括:

接收具有处理表面的基板;

在处理表面上形成硅层;

在处理表面上形成硅层之后将基板划分成第一和第二部分;和

将第一部分传输到下一台用于进一步处理。

8.如权利要求7的方法,其中划分基板包括:

在处理表面上形成硅层之后将第一线划分到基板表面中;和

激励破裂机械装置以沿着第一条线破裂基板。

9.如权利要求8的方法,其中划出第一线包括完全穿过硅层且进入处理表面中划出线。

10.如权利要求8的方法,还包括将第二线划入到处理表面中,其中第二线基本上垂直于第一线。

11.如权利要求10的方法,还包括定位与第二破裂机械装置相邻的基板的第一部分以使所划的第二线基本上与第二破裂机械装置的轴成一直线。

12.如权利要求11的方法,还包括激励第二破裂机械装置以沿着所划的第二线破裂第一部分。

13.如权利要求11的方法,其中处理表面具有大于约1.4m2的表面积。

14.一种制造太阳能电池器件的系统,包括:

适合于接收基板的基板接收模块;

具有适合于在基板表面上沉积含硅层的处理室的组合工具;

背接触沉积室,其被构成为在基板表面上沉积背接触层;

基板划分模块,其被构成为将基板划分成两个或多个部分;和

系统控制器,用于控制和协调每一个基板接收模块、组合工具、处理室、背接触沉积室和基板划分模块的功能。

15.如权利要求14的系统,其中基板划分模块包括CNC玻璃切割器。

16.如权利要求14的系统,其中基板划分模块包括被构成为将线划到基板表面中的划片台,被构成为沿着该线破裂基板的破裂台,和用于定位基板以使被划到基板中的线基本上与破裂机械装置对准的定位机械装置。

17.如权利要求16的系统,其中基板划分模块还包括第二定位机械装置,用于定位与第二破裂机械装置相邻的基板部分中的一个,以使第二破裂机械装置基本上与划到基板中的第二条线对准。

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