[发明专利]形成多种尺寸光电器件的生产线模块无效
申请号: | 200880000176.X | 申请日: | 2008-08-29 |
公开(公告)号: | CN101541486A | 公开(公告)日: | 2009-09-23 |
发明(设计)人: | 罗伯特·Z·巴克拉克;蔡用起;崔寿永;尼古拉斯·G·J·德弗里;雅科夫·埃尔格;埃里克·A·恩格尔哈特;米歇尔·R弗赖;查尔斯·盖伊;帕里斯·霍金斯;乔伊·胡;詹姆斯·克雷格·亨特;潘查拉·N·坎卡纳拉;李利伟;温·胡·罗;丹尼·卡姆·托恩·鲁;方·梅;斯蒂芬·P·墨菲;斯鲁杰尔·帕特尔;马修·J·B·桑德斯;阿萨夫·施莱辛格;舒然·沈;苏杰发;杰弗里·S·沙利文;戴维·坦纳;特雷莎·特罗布里奇;布赖斯·沃克;约翰·M·怀特;泰·K·王 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | B26D3/06 | 分类号: | B26D3/06;H01L21/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 形成 多种 尺寸 光电 器件 生产线 模块 | ||
技术领域
本发明的实施例一般涉及到用于形成多种尺寸太阳能电池器件的生产线模块。
背景技术
光电(PV)器件或者太阳能电池是将太阳光转换成直流(DC)电功率的器件。典型的薄膜型PV器件或者薄膜太阳能电池具有一个或多个p-i-n结。每个p-i-n结都包括p型层,本征层和n型层。当太阳能电池的p-i-n结暴露到太阳光(由光子的能量构成)时,太阳光就通过PV效应转换成电力。太阳能电池可嵌入到较大的太阳能阵列中。太阳能阵列可通过连接大量太阳能电池和用特定的框架和连接器将其结合到面板上来制造。
通常,薄膜太阳能电池包括有源区或光电转换单元,和设置成前电极和/或背电极的透明导电氧化物(TCO)膜。光电转换单元包括p型硅层,n型硅层和夹在p型和n型硅层之间的本征型(i型)硅层。包括微晶硅膜(μc-Si)、非晶硅膜(α-Si)、多晶硅膜(多晶Si)等的几种类型的硅膜都可用于形成光电转换单元的p型、n型、和/或i型层。背侧电极可含有一个或多个导电层。需要一种形成具有良好界面接触、低接触电阻且提供高的整体电器件性能的太阳能电池的改进工艺。
随着常规能源价格的上涨,需要一种使用低成本太阳能电池器件产生电力的低成本方式。常规太阳能电池制造工艺是劳动力强度高且具有能影响生产线产量、太阳能电池成本以及器件产率的多种干扰。例如,对于特定应用,需要特定的太阳能电池器件尺寸。常规太阳能电池生产线仅能制造单一尺寸的太阳能电池器件或者需要显著的停机时间以人工转换太阳能电池生产线工艺以适应不同基板尺寸且制造不同尺寸的太阳能电池器件。由此,需要一种能够实施全阶段制造工艺来从单个大基板制造多种尺寸太阳能电池器件的生产线。
发明内容
在本发明的实施例中,用于划分太阳能电池器件的模块包括被构成为接收自系统控制器的指令和将太阳能电池器件传输到模块的划片台中的入料传送器,被构成为接收自系统控制的指令并将图案划到太阳能电池器件第一表面中的划片机械装置,被构成为接收自系统控制器的指令并在第一破裂机械装置上方精确定位所划片的太阳能电池器件的第一定位机械装置,以及被构成为接收自系统控制器的指令并升高第一破裂机械装置的第一致动器。
在本发明的另一实施例中,用于划分被部分处理的太阳能电池器件的方法包括,接收具有处理表面的基板,在处理表面上形成硅层,在于处理表面上形成硅层之后将基板划分成第一和第二部分,和将第一部分传输到下一台中用于进一步的处理。
在本发明的另一实施例中,用于制造太阳能电池器件的系统包括适合于接收基板的基板接收模块,具有适合于在基板表面上沉积含硅层的处理室的组合工具,被构成为在基板表面上沉积背面接触层的背面接触沉积室,被构成为将基板划分成两个或多个部分的基板划分模块,以及用于控制和协调基板接收模块、组合工具、处理室、背面接触沉积室以及基板划分模块中每一个的功能的系统控制器。
在本发明的再一实施例中,一种处理太阳能电池器件的方法包括:清洗基板以从基板表面去除一种或多种污染物,在基板表面上沉积光吸收层,从基板表面上的区域去除至少一部分的光吸收层,在基板表面上沉积背面接触层,将基板划分成两个或多个部分,在这些部分之一的与背玻璃基板接合的表面上实施边缘消减工艺以形成复合结构,以及将接线盒贴附到该复合结构。
附图说明
因此可通过参考实施例获得能更详细理解本发明上述特征的方式、本发明更加特定的描述、以上的发明内容,于附图中示出了一些实施例。但是,将注意附图仅示出了本发明的典型实施例,且由于本发明可允许其他等效实施例,因此不应认为其限制了本发明的范围。
图1示出了根据在此描述的一个实施例用于形成太阳能电池器件的工艺顺序。
图2示出了根据在此描述的一个实施例的太阳能电池生产线的平面图。
图3A是根据在此描述的一个实施例的薄膜太阳能电池器件的侧视截面图。
图3B是根据在此描述的一个实施例的薄膜太阳能电池器件的侧视截面图。
图3C是根据在此描述的一个实施例的复合太阳能电池结构的平面图。
图3D是图3C的截面A-A的截面图。
图3E是根据在此描述的一个实施例的薄膜太阳能电池器件的侧视截面图。
图4A-4E是根据本发明的一个实施例示出划分模块顺序的示意性平面图。
图5A-5C是根据本发明一个实施例示出划分基板顺序的部分划分模块的示意性侧视图。
具体实施方式
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