[发明专利]薄板搬运方法和薄板加工装置

权利要求书

1.一种薄板搬运方法，其中，具备以下步骤：

将由软质部件形成的薄板形状的被加工物在预置台上进行定位；

进行了所述定位后，利用所述预置台上具备的形成多个列的孔部中的、在不吸引所述被加工物的相对的两个边附近的状态下形成至少一列的所述孔部吸引所述预置台上的所述被加工物；

在所述吸引的状态下用设于搬运装置的板进行加压；

在所述加压之后，从所述板所具备的形成多个列的孔部排气；

用所述板进行吸引；

用所述板吸引之后，将所述被加工物向加工载物台搬运；

在所述搬运之后，在所述加工载物台上由所述被加工物的相对的两边保持所述被加工物。

2.一种薄板加工装置，其特征在于，具备：

预置台，其具有拆装自如地吸引由软质部件形成的薄板形状的被加工物的孔部；

定位部，其在所述预置台上对所述被加工物的位置进行定位；

搬运装置，其具有拆装自如地吸引所述被加工物的板，且从所述预置台搬运被加工物；

加工载物台，其由所述被加工物的相对的两边附近保持所述搬运装置搬运来的所述被加工物，

所述被加工物被保持在离开所述加工载物台的底面的位置，

所述板的一边的长度比所述加工载物台的保持被加工物的间隔短。

3.如权利要求2所述的薄板加工装置，其中，所述孔部构成多个列，利用在不吸引所述被加工物的相对的两边附近的状态下形成至少一列的所述孔部，吸引所述预置台上的所述被加工物。

4.如权利要求3所述的薄板加工装置，其中，多个所述列中的一个所述列配置于，将由包围所述被加工物的四边规定的面积分为两等分的位置。