[发明专利]有机电致发光器件和其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机EL(Electroluminescent：电致发光)器件和其制造方法，特别涉及有机EL显示器。 

背景技术

有机EL显示器的构成要素的有机EL器件一般包括：有机EL元件和用于驱动该元件的薄膜晶体管(TFT：thin film transistor)。一般的有机EL器件为了驱动有机EL元件，使用驱动用晶体管(驱动TFT)和开关用晶体管(开关TFT)，所述开关用晶体管将驱动用晶体管导通或截止。 

作为有机EL器件的代表性的结构的例子，已知：在晶体管上层叠有机EL元件的顶部发光结构(例如，参照专利文献1)。这样的有机EL器件称为顶部发光型有机EL器件，来自发光层的光通过与基板相反侧的密封膜进行释放。 

图1表示专利文献1记载的现有的顶部发光型有机EL器件的结构。在图1所示的顶部发光型有机EL器件中，驱动用的薄膜晶体管123(驱动TFT)的源极区域141a经由接触孔145与像素电极111连接。另外，薄膜晶体管123的漏极区域141b经由设置在接触孔146的电源线103与开关用的薄膜晶体管(开关TFT)142连接。 

在图1中，省略了与驱动用的薄膜晶体管123连接的开关用的薄膜晶体管142的图示。 

专利文献1：(日本)特开2003-249375号公报 

但是，如上述现有的有机EL器件的结构的、经由接触孔连接(连结)开关TFT与驱动TFT有时是困难的，特别是在高分辨率的有源型的有机EL显示器中成为降低成品率的主要原因之一。 

发明内容

本发明的目的在于：解决上述现有的课题，更加可靠地进行驱动用晶 体管与开关用晶体管之间的连结的同时，提高成品率。 

另外，本发明的目的在于：提供具有高响应性的有机EL显示器和其制造方法。 

本发明的第一方面，涉及以下所述的有机EL器件。 

、本发明的有机EL器件包括：半导体元件A，其具有源电极和漏电极、以及栅电极；半导体元件B，其具有源电极和漏电极、以及与所述半导体元件A的源电极或漏电极连接的栅电极；以及有机EL元件，其具有与所述半导体元件B的漏电极连接的像素电极，所述半导体元件A的源电极和漏电极、以及所述半导体元件B的栅电极被配置在同一平面上。 

、[1]中记载的有机EL器件，其中，所述半导体元件A是顶栅型TFT，所述半导体元件B是底栅型TFT。 

、[1]中记载的有机EL器件，其中，所述半导体元件A是底栅型TFT，所述半导体元件B是顶栅型TFT。 

、[1]至[3]的任一个中记载的有机EL器件，其中，所述半导体元件A或所述半导体元件B的半导体层包含硅。 

、[1]至[3]的任一个中记载的有机EL器件，其中，所述半导体元件A或所述半导体元件B的半导体层包含有机半导体。 

、[1]至[3]的任一个中记载的有机EL器件，其中，所述半导体元件A以及所述半导体元件B的半导体层包含有机半导体，而所述半导体元件A的半导体层所包含的有机半导体与所述半导体元件B的半导体层所包含的有机半导体不同。 

本发明的第二方面，涉及以下所述的有机EL显示器。 

、本发明的有机EL显示器是在一个基板上矩阵状地配置[1]至[6]的任一个中的有机EL器件的有机EL显示器，与所述各个的半导体元件A的栅电极连接的扫描电极线和与所述各个的半导体元件B的源电极连接的公共电极线与X轴平行，而与所述各个的半导体元件A的源电极连接的数据电极线与Y轴平行，并且所述X轴与所述Y轴正交。 

本发明的第三方面，涉及以下所述的有机EL器件的制造方法。 

、本发明的有机EL器件的制造方法包括以下的步骤：准备基板；在所述基板的同一平面上形成半导体元件A的源电极和漏电极、半导体元件B的栅电极、以及将半导体元件A的源电极或漏电极与半导体元件B的栅 电极连接的接触部；形成将所述半导体元件A的源电极与漏电极连接的所述半导体元件A的半导体层；在所述半导体元件A的源电极、漏电极和半导体层、以及所述半导体元件B的栅电极上形成栅极绝缘膜；在所述栅极绝缘膜上形成所述半导体元件A的栅电极、以及半导体元件B的源电极和漏电极；形成将所述半导体元件B的源电极和漏电极连接的所述半导体元件B的半导体层；以及形成与所述半导体元件B的漏电极连接的有机EL元件的像素电极。