[发明专利]分光模块无效
申请号: | 200880000510.1 | 申请日: | 2008-06-05 |
公开(公告)号: | CN101542252A | 公开(公告)日: | 2009-09-23 |
发明(设计)人: | 铃木智史;柴山胜己;能野隆文;伊藤将师;H·泰希曼;D·希勒;U·施塔克 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙 淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分光 模块 | ||
1.一种分光模块,其特征在于,
具备:
本体部,使光透过;
分光部,对从所述本体部的规定的面入射于所述本体部的光进行分光,并向所述规定的面侧反射;
光检测元件,具有检测被所述分光部分光并反射的光的光检测部,通过倒装接合而电连接于形成于所述规定的面侧的配线;以及
底填充材料,填充于所述光检测元件的所述本体部侧,并使光透过,
所述光检测元件具有使向所述分光部行进的光通过的光通过孔,
在所述光检测元件中的所述本体部侧的面,以包围所述光通过孔的光出射开口的方式形成有积存部。
2.如权利要求1所述的分光模块,其特征在于,
所述配线在所述规定的面侧具有光吸收层。
3.如权利要求1所述的分光模块,其特征在于,
在所述规定的面形成有光吸收层,该光吸收层具有使向所述分光部行进的光通过的第1光通过部、以及使向所述光检测部行进的光通过的第2光通过部。
4.如权利要求1所述的分光模块,其特征在于,
所述积存部是以包围所述光出射开口的方式形成的环状的沟。
5.如权利要求4所述的分光模块,其特征在于,
所述沟,以从所述光通过孔的中心线方向看时,包围所述第1光通过部的方式形成。
6.如权利要求1所述的分光模块,其特征在于,
所述积存部是以包含所述光出射开口的方式形成的凹部。
7.如权利要求6所述的分光模块,其特征在于,
所述凹部,以从所述光通过孔的中心线方向看时,包含所述第1光通过部的方式形成。
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