[发明专利]分光模块

说明书

技术领域

本发明涉及对光进行分光并进行检测的分光模块。

背景技术

现有的分光模块，例如已知有专利文献1～3所记载的分光模块。在专利文献1中记载了一种分光模块，该分光模块具备：使光透过的支撑体、使光入射于支撑体的入射狭缝部、对入射于支撑体的光进行分光并进行反射的凹面衍射光栅、以及检测被凹面衍射光栅分光并反射的光的二极管。

专利文献1：日本特开平第4-294223号公报

专利文献2：日本特开第2004-354176号公报

专利文献3：日本特开第2003-243444号公报

发明内容

然而，在专利文件1所记载的分光模块中，当将入射狭缝部及二极管安装于支撑体时，入射狭缝部和二极管的相对的位置关系发生偏移，分光模块的可靠性有可能下降。

因此，本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种可靠性高的分光模块。

为了达到上述目的，本发明的分光模块的特征在于，具备：本体部，使光透过；分光部，对从本体部的规定的面入射于本体部的光进行分光，并向规定的面侧反射；光检测元件，具有检测被分光部分光并反射的光的光检测部，通过倒装接合而电连接于形成于规定的面侧的配线；以及底填充材料，填充于光检测元件的本体部侧，并使光透过，光检测元件具有使向分光部行进的光通过的光通过孔，在光检测元件中的本体部侧的面，以包围光通过孔的光出射开口的方式形成有积存部。

该分光模块中，向分光部行进的光通过的光通过孔、以及检测被分光部分光并反射的光的光检测部形成于光检测元件。因此，能够防止光通过孔和光检测部的相对的位置关系发生偏移。而且，光检测元件通过倒装接合而电连接于形成于本体部的规定的面侧的配线，使光透过的底填充材料填充于光检测元件的本体部侧。因此，能够提高本体部和光检测元件的机械强度，并且能够实现在本体部和光检测元件之间行进的光的折射率匹配。在此，在填充于光检测元件和本体部之间的底填充材料进入光检测元件的光通过孔内的情况下，入射于光通过孔的光有时候因光通过孔内的底填充材料的光入射侧表面的形状而发生折射或扩散。在本发明中，在光检测元件的本体部侧的面，以包围光通过孔的光出射开口的方式形成有积存部。于是，底填充材料在积存部积存，防止底填充材料进入光通过孔，因而能够使光入射至本体部，不会因底填充材料而发生折射或扩散。所以，依照该分光模块，能够提高可靠性。

在本发明的分光模块中，优选配线在规定的面侧具有光吸收层。例如，即使在为了提高相对于本体部的配线的紧密结合性并防止配线的断线等而在本体部的规定的面直接形成配线的情况下，也能够通过光吸收层来防止起因于配线的杂散光的漫反射等。

在本发明的分光模块中，优选在规定的面形成有光吸收层，该光吸收层具有使向分光部行进的光通过的第1光通过部、以及使向光检测部行进的光通过的第2光通过部。这种情况下，通过光吸收层来抑制杂散光的产生并吸收杂散光，因而能够抑制杂散光向光检测元件的光检测部入射。

积存部可以为以包围光出射开口的方式形成的环状的沟，也可以为以包含光出射开口的方式形成的凹部。在这些情况下，能够以简单的构造形成积存部。

优选沟以从光通过孔的中心线方向看时，包围第1光通过部的方式形成，并且，优选凹部以从光通过孔的中心线方向看时，包含第1光通过部的方式形成。在这些情况下，底填充材料在沟或凹部积存，防止底填充材料进入光吸收层的第1光通过部，因而能够使光入射至本体部，不会因底填充材料而发生折射或扩散。

依照本发明，能够提高可靠性。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式的分光模块的平面图。

图2是沿着图1的分光模块的II-II线的截面图。

图3是从本体部侧看图1的分光模块1的光检测元件的立体图。

图4是图1的分光模块的光通过孔附近的放大截面图。

图5是从本体部侧看第2实施方式的分光模块的光检测元件的立体图。

图6是第2实施方式的分光模块的光通过孔附近的放大截面图。

符号说明

1：分光模块；2：本体部；2a：前面(规定的面)；3：分光部；4：光检测元件；4a：后面(本体部侧的面)；6：光吸收层；6a：光通过部(第1光通过部)；6b：光通过部(第2光通过部)；9：配线；9d：光吸收层；12：底填充材料；16：光透过板；41：光检测部；42：光通过孔；42b：光出射开口；43：积存部；44：沟；45：凹部；CL：中心线。

具体实施方式