[发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，该缺陷检测装置具有：

加法运算值计算单元，其针对拍摄检查对象物而得到的由m行n列 的像素构成的二维图像数据，对在行方向或列方向的任意一个方向上排 成一列的各像素的像素值进行加法运算，从而将所述二维图像数据转换 成一维投影数据；

指标值计算单元，其对表示在所述二维图像数据的所述一个方向上 排成一列的所有像素的像素值的一致性的指标值进行计算；

校正单元，其根据所述指标值生成由用于加权的系数值构成的系数 数据，利用所述系数数据对所述一维投影数据进行加权，以校正所述一 维投影数据；以及

判定单元，其根据校正后的所述一维投影数据的要素值和阈值的比 较结果，判定所述检查对象物上是否有线状缺陷。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述指标值计算单元对在所述二维图像数据的所述一个方向上排成 一列的各像素的像素值的标准方差值进行计算，作为所述指标值。

3.根据权利要求2所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述指标值是由针对线状缺陷标准方差值变低、且针对点缺陷标准 方差值变高的标准方差值构成的标准方差数据的要素值。

4.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述指标值计算单元使用基于在所述二维图像数据的所述一个方向 上排成一列的各像素的像素值的浓度关联矩阵，计算所述指标值。

5.根据权利要求4所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述浓度关联矩阵通过组合相邻像素的浓度来决定矩阵的要素值。

6.根据权利要求4所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述指标值计算单元对所述浓度关联矩阵的对角要素的总和进行计 算，对表示在所述一个方向上排成一列的所有像素的像素值的一致性的 指标值进行计算。

7.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述指标值计算单元在其他方向的各像素位置上，根据在所述一个 方向上排列的像素的像素值，生成将所述各像素位置的浓度关联矩阵设 为要素的浓度关联矩阵数据，

所述校正单元生成根据所述浓度关联矩阵数据计算特征量并设为要 素值的特征量数据，将特征量转换成从0到1的任意一个值来计算系数 值，生成将该系数值设为要素值的系数数据，将该系数值设为一致性越 高越接近1、一致性越低越接近0的值，使用该系数数据针对所述一维投 影数据进行加权。

8.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述加法运算值计算单元计算针对所述一维投影数据实施了明暗度 校正处理和平滑化处理后的明暗度校正数据和所述一维投影数据的差 分，降低明暗度的影响，从而生成投影数据。

9.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述校正单元针对所述一维投影数据进行加权，来降低与指标值即 标准方差数据对应的所述一维投影数据的要素值的大小。

10.根据权利要求9所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述校正单元通过系数值和与指标值即标准方差数据对应的投影数 据的要素值之间的乘法运算进行加权，使用标准方差值越大系数值越小、 标准方差值越小系数值越大的系数数据针对投影数据进行加权。

11.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述缺陷检测装置还具有区域分割单元，所述区域分割单元将所述 二维图像数据分割成多个区域，使得在所述一个方向上至少排列2个区 域，

所述判定单元综合在所述一个方向上排列的各个区域中校正后的所 述加法运算值和所述阈值的比较结果，来判定是否有所述线状缺陷。

12.一种缺陷检测方法，其特征在于，该缺陷检测方法具有：

针对拍摄检查对象物而得到的由m行n列的像素构成的二维图像数 据，对在行方向或列方向的任意一个方向上排成一列的各像素的像素值 进行加法运算，从而将所述二维图像数据转换成一维投影数据的步骤；

对表示在所述二维图像数据的所述一个方向上排成一列的所有像素 的像素值的一致性的指标值进行计算的步骤；

根据所述指标值生成由用于加权的系数值构成的系数数据，利用所 述系数数据对所述一维投影数据进行加权，以校正所述一维投影数据的 步骤；以及

根据校正后的所述一维投影数据的要素值和阈值的比较结果，判定 所述检查对象物上是否有线状缺陷的步骤。