[发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及检测存在于液晶玻璃基板等检查对象物的表面上的缺陷 的缺陷检测装置及缺陷检测方法。

本申请根据2007年1月16日在日本申请的日本特愿2007-6766号 主张优先权，并将其内容引用于本申请。

背景技术

以往，公知有用照相机拍摄液晶玻璃基板等检查对象物，使用图像 处理来检查检查对象物上是否有缺陷的缺陷检测装置(缺陷检查装置)。 例如在专利文献1中公开了以下内容：为了更详细地检测缺陷，根据拍 摄检查对象物而得到的图像数据检测检查对象物上的明暗缺陷，并且通 过对图像数据进行微分处理来检测检查对象物的边缘和微小的缺陷，还 进行积分图像的微分处理来检测低对比度的明暗缺陷，从而得到缺陷的 综合信息。

此外，通过一边在一个方向上移动基板一边从多个喷嘴向基板上喷 出抗蚀剂的液体，来对液晶玻璃基板涂布抗蚀剂。此时，有时会由于喷 出喷嘴的不合格等，产生沿基板的移动方向直线状延伸的线状缺陷(线 不匀、筋状缺陷)。公知有使用了与这种线状缺陷等对应、并且运算量较 少的高效的投影运算的检测方法(例如参照专利文献2)。

【专利文献1】日本特开2000-36044号公报

【专利文献2】日本特开2001-101388号公报

但是，在现有技术的线状缺陷的检测方法中，具有以下的问题。

图13A示出了拍摄液晶玻璃基板而得到的图像。在液晶玻璃基板的 图像1300中，产生了线状缺陷1301和点缺陷1302。线状缺陷1301在图 像内一般是比背景亮度高或亮度低的、对比度较低的部分。点缺陷1302 是由于灰尘附着到基板的表面等而产生的，在图像内比背景亮度高或亮 度低。

在该图像1300的X方向的各像素位置上，计算在Y方向上排成一 列的各像素的像素值的加法运算值，如图13B所示，生成以该加法运算 值为要素值的投影数据1303。在该投影数据1303的分布中，横轴表示图 13A的X方向上的像素位置，纵轴表示像素值的加法运算值。

在投影数据1303中，与存在线状缺陷1301和点缺陷1302的像素位 置对应地产生峰值1304和1305。通过检测该峰值，能够检测出缺陷，但 是峰值1304和1305的形状非常相似，因此仅检测出了峰值，还不能判 别该峰值是由于线状缺陷引起的，还是由除其以外的缺陷引起的。由此， 在上述方法中，具有难以高精度地检测线状缺陷的问题。

发明内容

本发明正是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够高精 度地检测检查对象物上的线状缺陷的缺陷检测装置及缺陷检测方法。

本发明涉及的缺陷检测装置具有：加法运算值计算单元，其针对拍 摄检查对象物而得到的由m行n列的像素构成的二维图像数据，对在行 方向或列方向的任意一个方向上排成一列的各像素的像素值进行加法运 算，从而将所述二维图像数据转换成一维投影数据；指标值计算单元， 其对表示在所述二维图像数据的所述一个方向上排成一列的所有像素的 像素值的一致性的指标值进行计算；校正单元，其根据所述指标值校正 所述加法运算值；以及判定单元，其根据校正后的所述加法运算值和阈 值的比较结果，判定所述检查对象物上是否有线状缺陷。