[发明专利]液滴喷头检查装置及液滴喷射装置

权利要求书

1.一种液滴喷头检查装置，用于对具有从设置于喷嘴面的喷嘴孔对被处理物喷射液滴的液滴喷头的液滴喷射装置进行检查，该液滴喷头检查装置的特征在于，包括：

检测部，该检测部具有发光部和受光部，该发光部出射检测光使得该检测光与所述液滴的行进路径交叉，该受光部接收所述检测光；以及

控制部，该控制部被构成为，根据所述受光部的受光状态，判断是否有物体将所述发光部和所述受光部之间遮住，

所述检测部被构成为，在至少所述检测光的一部分被所述喷嘴面遮住的第一位置、以及所述喷嘴面下方的与该喷嘴面的距离相当于所述喷嘴面和所述被处理物的间隔的距离的第二位置，进行所述检测光的出射及接收，

所述控制部被构成为，根据所述液滴喷头喷射液滴时在所述第二位置的所述受光部的受光结果来检测所述液滴喷头的喷射不良，并且根据所述液滴喷头未喷射液滴时在所述第一位置的所述受光部的受光结果来检测对所述液滴喷头的喷嘴面的异物附着，

所述控制部连续进行对所述液滴喷头的喷射不良的检测和对所述液滴喷头的喷嘴面的异物附着的检测。

2.如权利要求1所述的液滴喷头检查装置，其特征在于，

还包括支承所述检测部使其自由升降的支承部，

所述支承部在所述检测光的一部分被所述喷嘴面遮住的第一位置、以及所述喷嘴面下方的与该喷嘴面的距离相当于所述喷嘴面和所述被处理物的间隔的距离的第二位置之间，支承所述发光部及所述受光部使得所述发光部及所述受光部自由移动。

3.一种液滴喷射装置，具有从设置于喷嘴面的喷嘴孔对被处理物喷射液滴的液滴喷头，该液滴喷射装置的特征在于，包括：

检测部，该检测部具有发光部和受光部，该发光部出射检测光使得该检测光与所述液滴的行进路径交叉，该受光部接收所述检测光；以及

控制部，该控制部被构成为，根据所述受光部的受光状态，判断是否有物体将所述发光部和所述受光部之间遮住，

所述检测部被构成为，在至少所述检测光的一部分被所述喷嘴面遮住的第一位置、以及所述喷嘴面下方的与该喷嘴面的距离相当于所述喷嘴面和所述被处理物的间隔的距离的第二位置，进行所述检测光的出射及接收，

所述控制部被构成为，根据所述液滴喷头喷射液滴时在所述第二位置的所述受光部的受光结果来检测所述液滴喷头的喷射不良，并且根据所述液滴喷头未喷射液滴时在所述第一位置的所述受光部的受光结果来检测对所述液滴喷头的喷嘴面的异物附着，

所述控制部连续进行对所述液滴喷头的喷射不良的检测和对所述液滴喷头的喷嘴面的异物附着的检测。

4.如权利要求3所述的液滴喷射装置，其特征在于，

还包括支承所述检测部使其自由升降的支承部，

所述支承部在所述检测光的一部分被所述喷嘴面遮住的第一位置、以及所述喷嘴面下方的与该喷嘴面的距离相当于所述喷嘴面和所述被处理物的间隔的距离的第二位置之间，支承所述发光部及所述受光部使得所述发光部及所述受光部自由移动。