[发明专利]加热器及其制造方法

权利要求书

1.一种加热器，其具备基板、形成于所述基板上的发热电阻器和 与所述发热电阻器导通并含有金属成分的电极，其特征在于，还具备：

与所述电极的至少一部分连接，抑制所述金属成分从所述电极扩 散的扩散抑制层，

所述电极具有从所述发热电阻器离开的连接用垫和从所述连接用 垫向所述发热电阻器延伸的延伸部，

所述扩散抑制层的Pd的含有比例大于所述电极的Pd的含有比例，

所述扩散抑制层包括位于所述连接用垫的上侧的垫部。

2.如权利要求1所述的加热器，其特征在于：

所述扩散抑制层存在于所述发热电阻器和所述电极之间。

3.如权利要求1所述的加热器，还具备由覆盖所述发热电阻器的 玻璃形成的保护膜，其特征在于：

所述扩散抑制层包含软化点为形成所述保护膜的玻璃的软化点以 上的玻璃。

4.如权利要求1所述的加热器，其特征在于：

所述扩散抑制层包括与所述垫部分离的分隔部，该分隔部位于所 述发热电阻器与所述电极之间。

5.如权利要求4所述的加热器，其特征在于：

所述垫部的Pd的含有比例与所述分隔部的Pd的含有比例相同。