[发明专利]表面处理装置

权利要求书

1.一种表面处理装置，其特征在于，

上述表面处理装置包括：

耐压槽，其内部能够成为真空状态；

筒形的耐压外壳，其下端侧插入在上述耐压槽内并且上端侧从耐压槽凸出到外侧，在该凸出部连接有上下移动机构，从而上述耐压外壳能够上下移动；

旋转驱动机构，其配置于上述耐压外壳的凸出部；

驱动轴，其与上述旋转驱动机构连接从而能够旋转，并且该驱动轴贯穿耐压外壳地进行配置；

作业机构，驱动轴的驱动力经与上述驱动轴的下部连接的旋转传递机构传递至该作业机构，从而该作业机构进行表面处理作业；

耐压真空密封件，其配置在上述耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部，该耐压真空密封件仅针对耐压外壳的上下移动来保持气密性，而不针对驱动轴或/和旋转传递机构的旋转；以及

驱动真空密封件，其配置在上述耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部，或/和配置在上述耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部，该驱动真空密封件仅针对驱动轴或/和旋转传递机构的旋转来保持气密性，而不针对耐压外壳的上下移动。

2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

耐压外壳在下部形成有耐压收纳部，该耐压收纳部用于收纳旋转传递机构。

3.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

在作业机构中，通过将设置有旋转传递辊子或移送链条的从动轴与旋转驱动机构连接，来将驱动轴的驱动力传递给旋转传递辊子或移送链条，从而能够使载置于该旋转传递辊子或移送链条上的表面处理用笼旋转或摆动。

4.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，

在作业机构中，通过将设置有旋转盘的从动轴与旋转驱动机构连接，来将驱动轴的驱动力传递给旋转盘，从而能够使载置于该旋转盘上的表面处理用笼旋转。