[发明专利]表面处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种表面处理装置，该表面处理装置具有能够使表面处理用笼在真空状态的耐压槽内上下移动和旋转的动力传递机构，该表面处理用笼将被处理物收纳在内部来进行防锈、清洗、滚磨、镀敷以及其它的表面处理。

背景技术

以往，如专利文献1所示，已知有这样的清洗装置：一边使被清洗物在清洗槽内旋转和上下移动来一边进行清洗。关于该清洗装置，驱动轴的下端侧插入在清洗槽内，在驱动轴的从上述清洗槽凸出的上端侧，连接有能够使该驱动轴上下移动的上下移动机构。此外，在该驱动轴的上端，设置有能够使驱动轴旋转移动的旋转驱动机构，并且，在该驱动轴的下端，经传递上述驱动轴的驱动力的旋转传递机构设置有转动盘。

另外，在将被清洗物固定在该转动盘上的状态下，通过使上述旋转驱动机构工作而驱动驱动轴旋转，由此能够使被清洗物旋转，并且通过使上述上下移动机构工作来使驱动轴上下移动，由此能够使被清洗物进行升降。另外，通过这样进行被清洗物的旋转和/或升降，来进行被清洗物的清洗作业。此外，专利文献1所示的清洗装置以在清洗槽内是常压的状态下进行使用为前提。

另一方面，如果在使清洗槽内保持真空状态的状态下进行清洗作业，则能够获得优异的效果，这是已知的。例如，如果使清洗槽内为真空状态来进行超声波清洗的话，与常压状态下的超声波清洗相比减少了超声波的衰减，而且使附着于凹凸部的空气排出，提高了清洗效果，这是已知的。此外，在镀敷等除清洗作业以外的表面处理作业中，通过在真空状态下进行该作业，即使在被处理物相互接触或重合的情况下，表面处理用的药剂也能够浸透到细微部分，能够进行均匀的表面处理。

专利文献1：日本特公昭63-24754号公报

但是，由于上述专利文献1中记载的清洗装置是在清洗槽内为常压的状态下使用的装置，所以清洗槽内未进行耐压密封，而是形成为常压状态。因此，不可能使用该清洗装置在真空气氛中进行清洗。

发明内容

因此，本发明是为了解决如上所述的课题而完成的，其目的在于获得一种表面处理装置，该表面处理装置能够在使表面处理槽内保持真空状态的同时，使收纳在该表面处理槽内的作业机构上下移动，并且能够利用作业机构部分进行旋转、摆动等与表面处理目的相符的作业。

为了解决如上所述的课题，本发明包括：耐压槽，其内部能够成为真空状态；和筒形的耐压外壳，其下端侧插入在上述耐压槽内并且上端侧从耐压槽凸出到外侧，在该凸出部连接有上下移动机构，从而上述耐压外壳能够上下移动。通过这样使外壳具有耐压性，即使在外壳配置于真空状态的耐压槽内的情况下，也不易产生外壳破损的可能，能够在稳定的状态下使用装置。此外，上述耐压外壳也可以在下部形成有耐压收纳部，该耐压收纳部用于收纳如下所示的旋转传递机构。此外，上述上下移动机构既可以是液压缸或气压缸，也可以是螺旋丝杠或链滑车等。

此外，本发明包括：旋转驱动机构，其配置于上述耐压外壳的凸出部；驱动轴，其与上述旋转驱动机构连接从而能够旋转，并且该驱动轴贯穿耐压外壳地进行配置；和作业机构，驱动轴的驱动力经与该驱动轴的下部连接的旋转传递机构传递至该作业机构，从而该作业机构进行表面处理作业。此外，关于作业机构，也可以通过将设置有旋转传递辊子或移送链条的从动轴与旋转驱动机构连接，来将驱动轴的驱动力传递给旋转传递辊子或移送链条，从而能够使载置于该旋转传递辊子或移送链条上的表面处理用笼旋转或摆动。此外，也可以通过将设置有旋转盘的从动轴与旋转驱动机构连接，来将驱动轴的驱动力传递给旋转盘，从而能够使载置于该旋转盘上的表面处理用笼旋转。此外，也可以构成其它任意的作业机构，并将驱动轴的驱动力传递给该作业机构。

此外，本发明包括：耐压真空密封件，其配置在上述耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部，并通过耐压外壳的上下移动来保持耐压槽内的气密性；和驱动真空密封件，其配置在上述耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部，或/和配置在上述耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部，并通过驱动轴或/和旋转传递机构的旋转来保持耐压槽内的气密性。这样，通过分别配置针对上下移动的耐压真空密封件、和针对旋转的驱动真空密封件，能够保持以下部分的气密性：耐压槽与耐压外壳之间的外部气体连通部、以及耐压外壳与驱动轴之间的外部气体连通部或/和耐压外壳与旋转传递机构之间的外部气体连通部，因此，能够在使耐压槽内保持真空状态的同时，分别进行上述耐压外壳的上下移动以及驱动轴的旋转。