[发明专利]传送腔室接口用的漂浮狭缝阀

权利要求书

1.一种设备，包括：

传送腔室，包括传送腔室主体，所述传送腔室主体具有：

开口，穿设于所述传送腔室主体，所述开口的尺寸允许一个或多 个基板通过所述开口；

多个狭孔，穿设于所述传送腔室主体，每个狭孔随着离所述传送 腔室主体的中央的距离越远而相继越大；

狭缝阀，所述狭缝阀包括：

狭缝阀主体，具有贯穿自身的开口，所述开口的尺寸允许基板通 过所述开口，所述主体还具有沟槽，所述沟槽形成于所述主体内且环 绕所述开口；

一个或多个间隔物组件，埋头钻设于所述狭缝阀主体中，并且当 所述狭缝阀由于热膨胀/收缩移动时，所述一个或多个间隔物组件能够 沿着所述传送腔室的一侧滑动；以及

O形环，在所述沟槽中耦接于所述狭缝阀与所述传送腔室之间；以及

紧固构件，所述紧固构件穿设于所述多个狭孔的各狭孔中，并与所述 狭缝阀主体耦接。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述间隔物组件包括至少一种材料， 所述材料选自由陶瓷、聚酰胺、聚酰亚胺、涂覆有镍硼合金(NiB)的金属、 涂覆有二硫化钨(WS₂)的金属及上述各材料的组合所组成的群组。

3.如权利要求2所述的设备，其中所述金属包括不锈钢。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述狭缝阀额外耦接至处理腔室。

5.一种沿着传送腔室滑动狭缝阀的方法，包括：

加热处理腔室；

传导性地加热所述狭缝阀，所述狭缝阀耦接至所述处理腔室及所述传 送腔室，所述传送腔室包括：

开口，穿设于所述传送腔室主体，所述开口的尺寸允许一个或多 个基板通过所述开口；

多个狭孔，穿设于所述传送腔室主体，每个狭孔随着离所述传送 腔室主体的中央的距离越远而相继越大；

所述狭缝阀包括：

狭缝阀主体，具有贯穿于自身的开口，所述开口的尺寸允许基板 通过所述开口，所述主体还具有沟槽，所述沟槽形成于所述主体内且环绕 所述开口；

紧固构件，所述紧固构件穿设于所述多个狭孔的各狭孔中，并与 所述狭缝阀主体耦接；以及

一个或多个间隔物组件，埋头钻设于所述狭缝阀主体中；

使所述狭缝阀膨胀，所述膨胀包括沿着所述传送腔室的第一表面而滑 动所述一个或多个间隔物组件。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述膨胀还包括：

移动至少一个紧固构件，所述紧固构件沿所述传送腔室的第二表面与 所述狭缝阀主体耦接。

7.如权利要求5所述的方法，其中间隔物组件包括至少一种材料，所 述材料选自由陶瓷、聚酰胺、聚酰亚胺、涂覆有镍硼合金(NiB)的金属、 涂覆有二硫化钨(WS₂)的金属及上述各材料的组合所组成的群组。