[发明专利]用于保持和移动电子器件、尤其是IC的柱塞

权利要求书

1.一种柱塞，该柱塞用于保持和向一与测试装置连接的接触装置 或离开该接触装置移动电子器件，该柱塞具有

-头部部件(10)，

-设置在头部部件(10)内的用于吸持器件(3)的吸头(15)，

-用于利用流体对保持在吸头(15)上的器件(3)调温的调温装 置，其特征在于，所述头部部件(10)具有由经调温的流体流动通过 的流体分配室(18)，在流体分配室中设置吸头(15)，由此使经调温 的流体绕流吸头(15)并且沿着吸头(15)被继续引导到所述器件。

2.如权利要求1所述的柱塞，其特征在于，所述柱塞(1)具有 前段(8)、后端部段(6)和中间段(9)，其中所述调温装置具有至少 一个通入前段(8)中的流体输入管(40)并且包括在柱塞(1)的后 端部段(6)与前段(8)之间延伸的加热管，在该加热管中设置用于 加热流体的加热装置(43)。

3.如权利要求2所述的柱塞，其特征在于，所述加热装置(43) 由加热线圈形式的电阻加热器组成，它至少在中间段(9)的大部分长 度上延伸。

4.如权利要求2所述的柱塞，其特征在于，所述柱塞(1)的前 段(8)包括固定在中间段(9)上的基体(11)和头部部件(10)，该 头部部件固定在基体(11)上并且具有包括流体分配室(18)的、轴 向的通孔(14)，通过该通孔向器件(3)引导经调温的流体。

5.如权利要求4所述的柱塞，其特征在于，所述头部部件(10) 可侧向移动地固定在基体(11)上并通过弹性元件(31)被推压到一 相对于基体(11)的对中位置。

6.如权利要求5所述的柱塞，其特征在于，各所述弹性元件(31) 由多个弹簧舌片(33，34)组成，各弹簧舌片固定在基体(11)上并 且从各对置的侧面出发搭接头部部件(10)。

7.如权利要求4至6中任一项所述的柱塞，其特征在于，在轴向 的通孔(14)的前端部区域中设置由导热良好的材料组成的导热体 (48)，它具有大的、由经调温的流体冲流的表面并设置成，使得由吸 头(15)牢固吸持的器件(3)大面积地与导热体(48)接触。

8.如权利要求7所述的柱塞，其特征在于，所述导热体(48)弹 性地保持在通孔(14)内部，由此使导热体(48)的位置能够与器件 (3)的不同位置相匹配。

9.如权利要求2至6中任一项所述的柱塞，其特征在于，在流体 输入管(40)的前端部区域中设置一温度传感器(51)，该温度传感器 是用于调节由调温装置产生的温度的调节装置的一部分。