[发明专利]用于保持和移动电子器件、尤其是IC的柱塞

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于保持和移动电子器件的柱塞、尤其是用于将 IC’s(集成电路)输送到与测试装置连接的接触装置的和移动离开该 接触装置的柱塞。

背景技术

一般在电子器件、如IC’s(具有集成电路的半导体器件)装配在 电路板上或者其它形式地使用之前，要检验其功能性。在此由一般称 为“操作手(Handler)”的自动操作装置使要被检测的器件与接触装置 接通，所述接触装置尤其构成为触点插座并且与检测装置的测试头电 接通。在测试过程结束以后利用操作手再将器件从接触装置上取下并 且根据测试结果分拣。

为了保持和接通器件操作手一般具有柱塞，即，可纵向移动的保 持单元，各所述保持单元尤其可以利用真空通过施加吸力保持器件。 在将器件放置在操作手内部以后将各柱塞带到这样一个位置，在该位 置它们可以以直线行程继续朝接触装置进给，直到器件与接触装置进 入接触。在完成测试过程以后利用柱塞重新将器件从测试头上取下并 且对其这样定位，使它们通过卸载工位从操作手中除去并且根据测试 结果进行分拣。

为了可以在确定的温度条件下执行测试，还已知，使器件在测试 过程之前调温到确定温度。这个温度例如可以在-60℃至+200℃的范 围。

器件的调温一般以对流和/或传导的方式在隔热的调温室中实现， 调温室可以设置在操作手的内部或外部。在此在放置到柱塞上并且由 柱塞向接触装置进给之前，同时在调温室内部将多个器件调整到所期 望的温度。这里不利的是，在器件加热与接通之间的时间内出现热量 损失，这种热量损失导致，器件到测试时刻不再精确地具有额定(期 望)温度。由于与接触装置的接触在测试期间有可能出现进入器件或 者离开器件的热流。此外共同在调温室中调温的器件也可能使具有不 同的温度。

由US 5,977,785A已知如权利要求1前序部分所述的柱塞。该文 件的柱塞具有头部部件，该头部部件具有多个吸头和一与吸头分开设 置的接触板，该接触板可以利用热或冷的流体加热或冷却。被吸持的 器件贴靠在接触板上并且可以通过接触板被调温。将经调温的流体输 送给接触板的闭合的回路给并且从那里再流出。但是这里不利的是， 头部部件的结构复杂并且需要较大规格的接触板，它具有内置的流体 通道和相应的用于流体连接管道的接头。这种头部部件不适用于非常 小的器件。

发明内容

因此本发明的目的是，提供一种开头所述类型的柱塞，通过该柱 塞可以在确定的温度条件下以尽可能精确的方式和方法进行电子器件 的测试。此外该柱塞能够简单地构造并且在头部区域具有小的结构尺 寸，因此它也适用于小的器件。

按照本发明这个目的，一种用于保持和向一与测试装置连接的接 触装置或离开该接触装置移动电子器件的柱塞得以实现，该柱塞具有

-头部部件，

-设置在头部部件内的用于吸持器件的吸头，

-用于利用流体对保持在吸头上的器件调温的调温装置，其特征 在于，所述头部部件具有由经调温的流体流动通过的流体分配室，在 流体分配室中设置吸头，由此使经调温的流体绕流吸头并且沿着吸头 被继续引导到所述器件。

按照本发明所述头部部件具有由经调温的流体流动通过的流体分 配室，在流体分配室中设置吸头，由此使经调温的流体绕流吸头并且 沿着吸头将其向器件引导。

通过使调温装置直接设置在柱塞上，可以在将其进给到所属的接 触装置期间甚至还在测试过程期间对保持在柱塞上的器件调温，由此 可以在进给运动期间和测试过程期间消除热损失或者至少使其最小 化。由此在整个过程中可以以非常精确的方式实现对器件持续的调温。 在此所述流体分配室以特别有利的方式使得调温流体不仅点式地而且 大面积地到达器件并均匀地加热器件。此外所述头部部件可以简单地 构造并具有小的结构尺寸，由此使柱塞不仅可以用于大规格的、而且 可以用于非常小的器件。

适宜地使用经净化的空气作为流体，所述空气以相应的方式被调 温。但除此以外，也可以毫无问题地使用其它气体，这尤其在低温测 试时可以是有利的。