[发明专利]多层信息记录介质的制造方法、以及信号转印基板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及以再生或记录再生为目的的信息记录介质，特别是具备多个信息记录层的多层信息记录介质的制造方法、在信息记录介质的信号部通过转印而形成时所使用的信号转印基板及其制造方法。

背景技术

近年来，随着信息设备/视频声音设备等所需要的信息量的扩大，在数据访问的容易度、大容量数据的储存和设备的小型化上优异的光盘等信息记录介质引人注目，实现了记录信息的高密度化。例如，提出了通过使用以激光的波长约为400nm、且用于聚集激光的聚光镜头的数值孔径(NA)为0.85的光头，而实现了单层为25GB左右、2层为50GB左右的容量的光记录介质(例如，参照日本特开2002-260307号公报)。

以下，针对日本特开2002-260307号公报中记载的以往的多层信息记录介质的结构和制造方法，使用图6和图7A～图7G进行说明。

图6表示以往的多层信息记录介质的剖面图。该多层信息记录介质由在单面转印形成有由凹凸形状构成的凹坑(pit)和引导沟的信号部的第1信号基板601、在第1信号基板601的设置有凹凸形状的面上配置的第1薄膜层602、在和与第1薄膜层602的接合面相反的面上通过转印而形成有由凹凸形状构成的凹坑(pit)和引导沟的信号部的第2信号基板603、在第2信号基板603的设置有凹凸形状的面上配置的第2薄膜层604、及以覆盖第2薄膜层604的方式形成的透明层605构成。第1信号基板601通过使用聚碳酸酯、聚烯烃等的树脂材料且通过射出压缩成形等在其单面由转印形成凹坑和引导沟为凹凸形状而被制成。第1信号基板601的厚度为1.1mm左右。第1薄膜层602和第2薄膜层604分别含有记录膜、反射膜，对在第1信号基板601和第2信号基板603中形成有信号部的面(信号面)侧通过溅射和蒸镀等方法制作。作为反射膜的材料的例，主要可列举银合金、铝等的金属材料，可以采用对于波长约400nm的激光能够得到高效的反射率的材料。另外，记录膜的材料中，有可擦写型和一次性写入型2种记录材料。在可擦写型中使用能够多次进行数据的记录和消去的材料，可使用GeSbTe、AgInSbTe等的记录材料。在一次性写入型中，使用仅能进行1次记录、不可逆地变化的材料。TeOPd为其代表性的材料。第2信号基板603使用紫外线固化型树脂通过旋涂法形成，利用信号转印基板转印形成凹坑和引导沟的凹凸形状(信号部)。在此所使用的信号转印基板为如第1信号基板601那样的在单面形成凹坑和引导沟的凹凸形状的基板。具体地说，信号转印基板，是具有形成有与在第2信号基板603上形成的信号部对应的凹凸形状的信号面作为转印面的基板。第2信号基板603通过以下方法形成：将这样的信号转印基板以其信号面与第1信号基板601对向的方式通过紫外线固化型树脂贴合，在紫外线固化型树脂的固化后将信号转印基板从与紫外线固化型树脂的界面剥离从而形成。透明层605，由对记录再生光透明的(具有高透过性)材料构成，厚度为0.1mm左右。作为材料，可以使用光固化型树脂、感压粘合剂等粘合剂，例如可以将紫外线固化型树脂由旋涂法涂覆于第2薄膜层604上而形成。这样制造的多层信息记录介质的记录再生，通过使记录再生激光从透明层605侧入射而进行。

在图7A～图7G中示出了表示以往的多层信息记录介质的制造方法中的各工序的剖面图，使用这些图对以往的多层信息记录介质的制造方法进行说明。

首先，在第1信号基板701的形成有凹坑和引导沟的信号面上通过溅射、蒸镀等方法形成含有记录膜、反射膜的第1薄膜层702。第1信号基板701通过其与形成有第1薄膜层702的面的相反侧的面、由真空吸附等方法被固定在转台703上(参照图7A)。

在固定于转台703上的第1信号基板701上形成的第1薄膜层702上，为了形成作为树脂层的第2信号基板，通过分配器在所期望的半径上呈同心圆状涂覆紫外线固化型树脂704(参照图7B)。

接下来，通过使转台703自旋旋转而进行紫外线固化型树脂704的拉伸(参照图7C)。拉伸时通过作用于紫外线固化型树脂704的离心力，可以从紫外线固化型树脂704中除去多余的树脂和气泡。这时，就所拉伸的紫外线固化型树脂704的厚度而言，通过任意地设定紫外线固化型树脂704的粘度、自旋旋转的转数、时间、自旋旋转时周围的环境(温度、湿度等)，能够控制为所期望的厚度。