[发明专利]半导体用粘着剂组合物及使用该粘着剂组合物制造的半导体装置有效
申请号: | 200880009816.3 | 申请日: | 2008-10-24 |
公开(公告)号: | CN101778919A | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
发明(设计)人: | 田中伸树;大久保光 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
主分类号: | C09J201/00 | 分类号: | C09J201/00;C09J9/02;C09J11/04;H01L21/52 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 菅兴成;吴小瑛 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 粘着 组合 使用 制造 装置 | ||
1.一种半导体粘着剂组合物,包括:
选自由氰酸酯树脂、环氧树脂、丙烯酸树脂和马来酰亚胺树脂组成的组 中的一种或两种以上的热固性树脂(A),和
具有以下式(1)表示的硫醚键和烷氧基甲硅烷基的化合物(B),
而且,所述化合物(B)中的以下式(2)表示的成分的含量为0.6质量 %以下,
-(S)n- (1)
式(1)中,n为1以上的整数;
X-(CH2)m-SiR1R2R3 (2)
式(2)中,R1~R3分别独立地表示碳原子数1~10的烷基或碳原子数1~10 的烷氧基,R1~R3中的至少一个为碳原子数1~10的烷氧基,X表示卤原子, m为1~10的整数。
2.如权利要求1所述的半导体粘着剂组合物,其中,还含有填充材料粒 子(C)。
3.如权利要求1所述的半导体粘着剂组合物,其中,上述化合物(B) 为上式(1)中的n的平均值为2.0~4.5的化合物。
4.如权利要求1所述的半导体粘着剂组合物,其中,所述半导体粘接剂 组合物的固化物的热水萃取的卤离子浓度为30ppm以下。
5.一种半导体装置,其通过权利要求1~4中任一项所述的半导体用粘着 剂组合物粘接半导体元件。
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