[发明专利]超纯水制备系统的清洗灭菌方法

权利要求书

1.超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：在对包括超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及连接上述超纯水制备装置和上述使用点的超纯水流路的超纯水制备系统进行清洗和灭菌的方法中，具有进行将系统内至少一部分用碱性溶液清洗的碱清洗步骤，以及该碱清洗后用灭菌水灭菌的灭菌步骤的清洗灭菌步骤，并将该清洗灭菌步骤进行2次以上。

2.权利要求1所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：上述碱性溶液是含有铵盐和/或碱金属的氢氧化物的pH9以上的水溶液。

3.权利要求1所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：上述灭菌水是温度为60℃以上的1次纯水或超纯水形成的温纯水，或者过氧化氢浓度为0.01-10重量％、温度为10-50℃的过氧化氢水溶液。

4.权利要求1所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：第1次的清洗灭菌步骤中的碱清洗步骤的时间为0.5小时以上，与第1次清洗灭菌步骤中的碱清洗步骤相比，长时间进行第2次以后的清洗灭菌步骤中的碱清洗步骤。

5.权利要求1所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：第1次清洗灭菌步骤中的灭菌步骤的时间为0.5小时以上，与第1次清洗灭菌步骤中的灭菌步骤相比，长时间进行第2次以后的清洗灭菌步骤中的灭菌步骤。

6.权利要求1所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：具有第1冲洗步骤，即在各清洗灭菌步骤中的碱清洗步骤完成之后立即进行以1次纯水或超纯水作为冲洗水的冲洗清洗。

7.权利要求6所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：使碱清洗步骤中的碱性溶液的流速为0.3-2.0m/秒。

8.权利要求6所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：使第1冲洗步骤中的冲洗水的流速为0.3-2.0m/秒。

9.权利要求6所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：在第1冲洗步骤中，冲洗水的pH为8以下和/或冲洗水的电阻率达到10MΩ·cm以上的预先设定值后，转移到下一个步骤。

10.权利要求1所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：具有第2冲洗步骤，即在各清洗灭菌步骤中的灭菌步骤完成之后立即进行以1次纯水或超纯水作为冲洗水的冲洗清洗。

11.权利要求10所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：使第2冲洗步骤中的冲洗水的流速为0.3-2.0m/秒。

12.权利要求10所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：灭菌步骤中的灭菌水为过氧化氢水溶液，第2冲洗步骤中，在冲洗水的过氧化氢浓度达到1mg/L以下后转移到下一个步骤。

13.权利要求10所述的超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：灭菌步骤中的灭菌水为温纯水，第2冲洗步骤中，冲洗水的电阻率达到10MΩ·cm以上的预先设定值后转移到下一个步骤。