[发明专利]显示元件的制造方法、显示元件的制造装置及显示元件

说明书

技术领域

本发明涉及有机电致发光(EL)元件、液晶显示元件或场致发射显 示器(FED：Field Emission Display)等平板显示元件。此外，还涉 及上述显示元件的制造方法及制造装置。

背景技术

液晶显示元件等显示元件由于具有小型、薄型、耗电低及轻量这些 特点，广泛地应用在各种电子器件上。驱动这些显示元件的驱动电路或 薄膜晶体管通常使用被称为步进机(stepper)的曝光装置进行制造。

然而，尤其是在液晶显示元件迈入大型化，到第8代以后，由于制 造成本、装置输送限制等而达到了以至今为止的比例放大(scale up) 延长线路的技术无法应对的地步，存在着很多问题。此外，为了降低制 造成本，除了由基板尺寸扩大而产生的高效化以外，降低装置成本、运 转成本，提高大型面板合格率也成为重要的问题。

此外，还有有机EL及场致发射显示器等开始投放市场，对于这些 下一代的显示元件的制造，装置成本的降低、运转成本的降低也成为重 要的问题。

专利文献1中，作为降低液晶显示元件的装置成本、运转成本的对 策，公开了一种以卷轴(roll)形式制造液晶显示元件的方法。

专利文献1：日本专利第3698749号公报

发明内容

专利文献1公开的实施例公开了可以容易制造的无源型的液晶单元 的制造方法，而不是制造具有当前正使用的高精度的驱动电路或薄膜晶 体管的显示装置。此外，为了形成高精度驱动电路或薄膜晶体管，定位 非常重要。

因此，本发明提供一种在可挠性基板上形成高精度的驱动电路或薄 膜晶体管的显示元件用的制造装置、制造方法以及批量生产性强的显示 元件。

本发明的显示元件制造方法具有：标记形成工序，在沿第1方向输 送的可挠性基板上形成基准标记；隔壁形成工序，在可挠性基板上形成 隔壁；电极形成工序，根据基准标记，通过涂布装置相对于隔壁在规定 位置涂布导电材料而形成电极。

利用该制造方法可以在可挠性基板上设置基准标记和隔壁，且通过 导电材料的涂布形成电极。因此，可以高精度、廉价地形成薄膜晶体管 等。

本发明的显示元件制造装置具有：输送部，其沿第1方向输送可挠 性基板；标记形成部，其在可挠性基板上形成基准标记；隔壁形成部， 在可挠性基板上形成隔壁；涂布部，根据基准标记在隔壁的规定位置涂 布导电材料。

利用该制造装置可以在可挠性基板上形成基准标记和隔壁，且根据 基准标记高精度地涂布导电材料。

本发明的显示元件具有：可挠性基板；通过按压可挠性基板而形成 的隔壁；在隔壁之间进行涂布而形成的电极。

可以高精度且廉价大量地制造具有隔壁间被涂布了的电极的显示 元件，该隔壁通过按压可挠性基板而形成的。

发明效果

本发明的显示元件的制造方法、制造装置或显示元件具有装置成本 低、运转成本低以及显示元件自身价格低这些优点。此外，由于形成了 隔壁，还具有高精度地形成显示元件的优点。

已完成的面板可以在保持着卷轴的状态下进行输送，可以大幅度降 低输送成本。特别是，越是多倒角面板、大型面板，效果越好。

附图说明

图1(a)为有机EL元件50的俯视图，(b)及(c)为(a)的b-b 截面图及c-c截面图。

图2是表示在可挠性基板上制造具有像素电极及发光层等的有机 EL元件的制造装置100的构成的概略图。

图3(a-1)为示出以刻印辊子(roller)10按压薄片基板FB，形 成隔壁的状态的俯视图，(a-2)为栅极总线GBL的截面图，(b-1)为形 成有栅极电极G的俯视图，(b-2)表示将金属墨水填充到栅极总线GBL 用的隔壁中的状态的截面图，(b-3)中编号1至9表示涂布的序号，(b-4) 所示的金属墨水为薄膜。

图4(a)是通过绝缘层用的液滴涂布装置201形成绝缘层I的状 态，(b)为形成源极总线SBL的图，(c)表示用切割装置30切割源极 电极S与漏极电极D的隔壁的状态的图，(d)表示有机半导体液滴涂布 装置20OS在源极电极S与漏极电极D之间涂布有机半导体墨水的状态 的图。