[发明专利]改善链处理准确度的预测性脉冲触发的用法

权利要求书

1.一种准确触发被导引激光脉冲来处理一目标样本的方法，这些激光脉 冲沿着一射束轴传播而该目标样本被安置在一支撑台上，而且该射束轴与支撑 台相对于彼此来移动用以藉由入射在该目标样本的指定位置上的激光脉冲来 处理这些指定位置，其包括：

在多个时间位移测量区间处决定该射束轴与该支撑台之间的对应相对位 置；

选择对应于该射束轴与该支撑台之间的相对位置的该射束轴与该支撑台 的相对移动速度；

在连续的时间位移测量区间之间预测该射束轴相对于该支撑台的中间位 置；以及

响应于该选择速度和该经预测中间位置，而触发一激光脉冲，用以处理一 指定的目标样本位置。

2.如权利要求1所述的方法，其中，该选择速度包含一对应于该射束轴 与该支撑台之间的其中一个相对位置的经测量速度值。

3.如权利要求1所述的方法，其中，该选择速度包含该射束轴与该支撑 台的相对移动的受控设定点速度。

4.如权利要求1所述的方法，其中，该选择速度包含以该射束轴与该支 撑台的相对移动为主的估计值。

5.如权利要求1所述的方法，其中，在多个时间位移测量区间处所决定 的这些对应相对位置由一干涉计来提供。

6.如权利要求1所述的方法，其中，在多个时间位移测量区间处所决定 的这些对应相对位置由一光学式编码器来提供。

7.如权利要求1所述的方法，其中，在多个时间位移测量区间处所决定 的这些对应相对位置由一干涉式编码器来提供。

8.如权利要求1所述的方法，其中，该射束轴相对于该支撑台的中间位 置的预测运用到一卡尔曼滤波器。

9.如权利要求1所述的方法，其中，触发一激光脉冲的时间的计算运用 到一链处理器电路板。

10.如权利要求1所述的方法，其中，中间位置的预测包括在小于这些时 间位移测量区间的时间区间处使用该选择速度来计算多个递增位置数值。

11.如权利要求1所述的方法，其中，对应于该选择速度的相对位置从对 应于数个先前时间位移测量区间的多个相对位置处所推知。

12.如权利要求1所述的方法，其中，该支撑台包含一平台。

13.如权利要求1所述的方法，其中，该目标样本包含一被制作成具有多 个导电链結构的半导体晶圆。

14.如权利要求1所述的方法，其进一步包括在一已算出的触发时间处触 发启动该激光脉冲，用以入射在该指定的目标样本上。

15.如权利要求1所述的方法，其进一步包括当该经预测的中间位置实质 上等于所希望的触发位置时便触发启动该激光脉冲，用以入射在该目标样本的 指定位置上。